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J-GLOBAL ID：200903060985562294

偏光光学素子とその製造方法

Inventor：
梅木 和博

About 梅木 和博


Applicant, Patent owner：
リコー光学株式会社

About リコー光学株式会社


Agent (1)： 野口 繁雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003058061
Publication number (International publication number)：2004271558
Application date： Mar. 05, 2003
Publication date： Sep. 30, 2004
Summary：
【課題】生産の工程を簡素化して高精度の表面3次元構造をもつ「無機材料製品」の偏光光学素子を再現性よく、安価に製造する。【解決手段】離型処理した金型上に紫外線硬化型樹脂16を塗布し、その上にシランカップリング処理した光透過性の製品基板2を押し当て、製品基板2の裏面側から均一な紫外線光を照射して紫外線硬化型樹脂層16を硬化させた後、金型を剥離する。樹脂層16の形状をドライエッチングにより製品基板2に転写する。製品基板2のパターンが形成された表面上にTiN膜を8nm程度成膜し、その上にAL-CVD膜を0.12μm成膜して、溝は完全に埋める。350°Cで5分間リフローした後、アルミニウム膜を製品基板表面までエッチバックして、アルミニウムの導電素子アレイが石英基板に埋め込まれた偏光光学素子を製作した。【選択図】 図3
Claim (excerpt)：
入射光に対して透明で、平坦な表面をもつ無機誘電体基板の平坦な表面に、同じ幅、同じ深さをもち、入射光の波長よりも短いピッチで等間隔に配列され、表面が前記基板の平坦な表面と同一平面となるように埋め込まれた多数の帯状導電素子からなるアレイを備えたことを特徴とする偏光光学素子。
IPC (3)：
G02B5/30 ,  G02B1/11 ,  G02B5/18
FI (3)：
G02B5/30 ,  G02B5/18 ,  G02B1/10 A
F-Term (11)：
2H049AA03 ,  2H049AA13 ,  2H049AA34 ,  2H049AA57 ,  2H049AA59 ,  2H049BA05 ,  2H049BA45 ,  2H049BB65 ,  2H049BC08 ,  2K009AA02 ,  2K009BB02
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (6)
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