エキシマレーザ発振装置

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：波多野久 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994216908
Publication number (International publication number)：1996083945
Application date： Sep. 12, 1994
Publication date： Mar. 26, 1996
Summary：

【要約】【目的】レーザガス流路に境界層が形成ないし発達するのを低減ないし防止し、レーザガス循環に必要な送風動力を低減し、エキシマレーザ発振効率を向上させる。【構成】レーザガス13の流路19に接する一対の放電電極14a,14bの外面に、ディンプル20を形成する。

Claim (excerpt)：

本体ケース内のレーザガスを冷却自在に循環せしめる装置と、前記レーザガスの流路でパルス放電してこのレーザガスを励起する一対の放電電極とを有するエキシマレーザ発振装置において、前記放電電極の外面に複数の凹部を形成したことを特徴とするエキシマレーザ発振装置。

IPC (2)：

H01S 3/036 , H01S 3/225

FI (2)：

H01S 3/03 J , H01S 3/223 E

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (9)

特開平4-129283
特開平2-199883
エキシマレーザ発振装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-300047 Applicant：株式会社東芝

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