ガス中の微粒子成分計測装置及び方法

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (1)：酒井宏明
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004255986
Publication number (International publication number)：2006071492
Application date： Sep. 02, 2004
Publication date： Mar. 16, 2006
Summary：

【課題】ガス成分を排除して微粒子成分のみの分析を良好に行うことができるガス中の微粒子成分計測装置及び方法を提供する。【解決方法】複数の減圧度の異なる第1の減圧室11-1と第2の減圧室11-2からなる減圧チャンバ11と、減圧度の高い第1の減圧室11-1に設けられ、微粒子成分を含むガス12を導入するガス導入部13と、減圧度の高い第1の減圧室11-1と減圧度の低い第2の減圧室11-2とを連通すると共に、導入されたガス成分12aと微粒子成分12bとを分離する分離部14と、減圧度の低い第2の減圧室11-2内に導入された微粒子成分12bをプラズマ化させるプラズマ化装置であるレーザ装置から照射されるレーザ光Lと、該プラズマ化装置15により発生したプラズマ16を計測する検出装置である光検出器17とを具備してなる。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

ガス中の微粒子成分を計測するガス中の微粒子成分計測装置であって、複数の減圧度の異なる減圧室からなる減圧チャンバと、減圧度の高い減圧室に設けられ、微粒子成分を含むガスを導入するガス導入部と、減圧度の高い減圧室と減圧度の低い減圧室とを連通すると共に、導入されたガス成分と微粒子成分とを分離する分離部と、減圧度の低い減圧室内に導入された微粒子成分をプラズマ化させるプラズマ化装置と、該プラズマ化装置により発生したプラズマを計測する検出装置とを具備してなることを特徴とするガス中の微粒子成分計測装置。

IPC (5)：

G01N 21/63 , G01N 15/00 , G01N 21/67 , G01N 27/62 , G01N 27/64

FI (5)：

G01N21/63 A , G01N15/00 A , G01N21/67 A , G01N27/62 V , G01N27/64 B

F-Term (19)：

2G043AA01 , 2G043BA01 , 2G043BA02 , 2G043BA05 , 2G043CA01 , 2G043CA06 , 2G043DA01 , 2G043DA05 , 2G043DA08 , 2G043EA09 , 2G043EA10 , 2G043EA17 , 2G043GA07 , 2G043GB01 , 2G043GB08 , 2G043HA05 , 2G043KA08 , 2G043KA09 , 2G043LA03

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (8)

微粒子分析装置およびその方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-097327 Applicant：理化学研究所
微粒子計測装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-103770 Applicant：横河電機株式会社
特開昭61-200663

Show all

Cited by examiner (10)

特開昭63-252244
微粒子計測装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-103770 Applicant：横河電機株式会社
特開昭61-200663

Show all

Return to Previous Page