プローブカード用探針、プローブカード用探針ユニット、プローブカード及びそれらの製造方法

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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：吉田研二 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001401271
Publication number (International publication number)：2003202350
Application date： Dec. 28, 2001
Publication date： Jul. 18, 2003
Summary：

【要約】【課題】プローブカード用探針を金属ガラスのバルク材から製造することにより、プローブカードをローコスト、短期に製造することを目的とする。【解決手段】プレス加工により金属ガラスのバルク材を結晶化温度以下で探針の厚み方向の形状に成形して探針板に成形する(S10)。次に、この探針板の一方の端部に接触子を形成し(S12)、この探針板から個々の探針に成形し(S14)、この探針を本体基板に取り付け配線する(S16)。これにより、金属ガラスのバルク材を加工して探針を成形し、プローブカードを製造することができる。

Claim (excerpt)：

被検査体の電極と電気的に接続するプローブカード用探針を製造する方法であって、プレス加工により、金属ガラスのバルク材を結晶化温度以下で、探針の厚み方向の形状に成形して探針板に成形する探針板成形工程と、前記探針板に探針幅を残して切り込みを入れ、個々の探針に成形する探針成形工程と、を含むことを特徴とするプローブカード用探針の製造方法。

IPC (4)：

G01R 1/067 , G01R 1/073 , G01R 31/26 , H01L 21/66

FI (4)：

G01R 1/067 G , G01R 1/073 E , G01R 31/26 J , H01L 21/66 B

F-Term (17)：

2G003AA07 , 2G003AA10 , 2G003AB01 , 2G003AG03 , 2G003AG04 , 2G011AA09 , 2G011AA15 , 2G011AA17 , 2G011AB01 , 2G011AB06 , 2G011AE03 , 2G011AE22 , 4M106AA01 , 4M106AA02 , 4M106AA04 , 4M106BA01 , 4M106DD03

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

コンタクトプローブおよびコンタクトプローブの製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-138876 Applicant：株式会社鹿浜製作所
プローブカードおよびその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-145975 Applicant：株式会社アドバンテスト, 下河辺明, 秦誠一
薄膜構造体の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-126680 Applicant：東京工業大学長

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