圧電アクチュエータ及びその製造方法

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：稲垣清
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998024610
Publication number (International publication number)：1999221917
Application date： Feb. 05, 1998
Publication date： Aug. 17, 1999
Summary：

【要約】【課題】強度や信頼性が高く、出力変位を高効率かつ高安定に発生可能で、生産性を向上させる圧電アクチュエータを提供する。【解決手段】表面に電極ペーストを塗布して内部電極4を形成したグリーンシートを積層し、一体焼結した後に、複数の溝7をサンドブラスト加工して駆動柱8を形成した。駆動柱8の横断面形状は、溝7の深さ方向に広がるテーパ形状とした。また、変位出力面1は、活性領域6と不活性領域5の境界に絞り49を有し、外部電極取り出し面9に向かって幅が広がる平面形状とした。

Claim (excerpt)：

それぞれ、溝を介して並列に基板上に配置され、かつ、圧電式駆動機構として機能する複数個の駆動柱を備え、駆動柱が、圧電材料グリーンシートを介して交互に積層された共通電極層及び個別電極層の積層電極構造からなる活性領域を駆動柱横断面の溝方向中央領域に有し、かつ活性領域の圧電効果により外部に変位出力する変位出力面を基板と反対側の駆動柱上端面に有する、圧電アクチュエータにおいて、各駆動柱は、溝幅方向の柱幅が変位出力面から基板に向けて拡幅していることを特徴とする圧電アクチュエータ。

IPC (4)：

B41J 2/045 , B41J 2/055 , B41J 2/16 , H01L 41/083

FI (3)：

B41J 3/04 103 A , B41J 3/04 103 H , H01L 41/08 S

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (9)

特開平4-086265
インク噴射装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-014543 Applicant：ブラザー工業株式会社
インク噴射装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-011406 Applicant：ブラザー工業株式会社

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