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J-GLOBAL ID：200903061767553913

塗工方法及び塗工装置

Inventor：
坂野 真一

About 坂野 真一

, 
寺内 伸行

About 寺内 伸行

, 
鈴木 智博

About 鈴木 智博


Applicant, Patent owner：
大日本印刷株式会社

About 大日本印刷株式会社


Agent (1)： 土井 育郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999307924
Publication number (International publication number)：2001121062
Application date： Oct. 29, 1999
Publication date： May. 08, 2001
Summary：
【要約】【課題】 貯蔵タンクに投入されたペーストをダイヘッドへ供給して基板に塗工するに際し、ロット内での塗工量を安定させることのできる塗工方法及び塗工装置を提供する。【解決手段】 液送ポンプ12からの吐出量をペーストLの容積により規定するか、或いは、ペーストLの流量又は重量を測定し、その測定値を次回の塗布条件の補正に利用することにより、貯蔵タンク11に投入されたペーストLの使い始めから終りまで基板ごとに略一定した量で塗布する。
Claim (excerpt)：
貯蔵タンクに投入されたペーストを液送ポンプを介してダイヘッドへ送り、そのダイヘッドから吐出されるペーストを基板に塗工する方法において、貯蔵タンク内のペーストの一部を供給管路の途中にあるバッファタンクに液送ポンプにより一旦送り込み、そのバッファタンク内のペーストを塗工用ポンプでダイヘッドから吐出して基板に塗工するようにし、しかも液送ポンプを制御してバッファタンク内のペースト量を維持するようにしたことを特徴とする塗工方法。
IPC (6)：
B05C 5/02 ,  B05C 11/10 ,  B05D 1/26 ,  B05D 3/00 ,  H01J 9/02 ,  H01J 11/02
FI (6)：
B05C 5/02 ,  B05C 11/10 ,  B05D 1/26 Z ,  B05D 3/00 B ,  H01J 9/02 F ,  H01J 11/02 B
F-Term (34)：
4D075AC04 ,  4D075AC92 ,  4D075AC95 ,  4D075CA48 ,  4D075DA06 ,  4D075DB11 ,  4D075DC24 ,  4D075EA14 ,  4F041AA05 ,  4F041CA02 ,  4F041CA16 ,  4F041CA22 ,  4F042AA06 ,  4F042BA06 ,  4F042BA12 ,  4F042BA25 ,  4F042BA27 ,  4F042CB03 ,  4F042CB11 ,  4F042CB18 ,  5C027AA01 ,  5C027AA02 ,  5C027AA06 ,  5C027AA09 ,  5C040GC19 ,  5C040GD09 ,  5C040GE09 ,  5C040GF19 ,  5C040JA02 ,  5C040JA04 ,  5C040JA15 ,  5C040JA31 ,  5C040MA23 ,  5C040MA24
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (6)
  • 枚葉塗工装置およびその方法
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-328239   Applicant：東レ株式会社
  • 塗布方法及び塗布システム
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-186310   Applicant：コニカ株式会社
  • 液処理装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-147367   Applicant：ソニー株式会社
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