基板加熱装置、基板加熱方法及び基板処理方法

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：鈴江武彦 (外6名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998197465
Publication number (International publication number)：2000031017
Application date： Jul. 13, 1998
Publication date： Jan. 28, 2000
Summary：

【要約】【課題】基板面内において良好な均熱性を得ることを可能とする。【解決手段】被処理基板を加熱する熱板11と、この熱板上に被処理基板を保持する基板保持手段と、熱板上空の気流12が熱板表面に沿って一方向に生じるようにする気流生成手段と、熱板に設けられ、リング状の発熱部が配置された第1の発熱構成部及び第1の発熱構成部の内側に配置され気流上流側での発熱量が気流下流側での発熱量よりも多くなるように構成された第2の発熱構成部からなる発熱手段14とを有する。

Claim (excerpt)：

被処理基板を加熱する熱板と、この熱板上に被処理基板を保持する基板保持手段と、前記熱板上空の気流が熱板表面に沿って一方向に生じるようにする気流生成手段と、前記熱板に設けられ、リング状の発熱部が配置された第1の発熱構成部及び第1の発熱構成部の内側に配置され気流上流側での発熱量が気流下流側での発熱量よりも多くなるように構成された第2の発熱構成部からなる発熱手段とを有することを特徴とする基板加熱装置。

IPC (2)：

H01L 21/027 , G03F 7/16 501

FI (2)：

H01L 21/30 567 , G03F 7/16 501

F-Term (2)：

2H025EA10 , 5F046KA04

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (5)

特開平4-127516
ベーキング装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-177259 Applicant：富士通株式会社
ベーキング方法および装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-239860 Applicant：株式会社日立製作所, 日立東京エレクトロニクス株式会社

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