塗布装置

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：小谷悦司 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998093166
Publication number (International publication number)：1999290752
Application date： Apr. 06, 1998
Publication date： Oct. 26, 1999
Summary：

【要約】【課題】塗布液中の気泡を速やかに、かつ確実に検知できるようにして、該気泡に起因した薄膜形成時のトラブルを未然に防止する。【解決手段】外部タンク5、定量吐出吸引ユニット8、ピンチバルブ92,93等を備えた塗布液供給管91を介してノズル1に塗布液を給送しつつ、基板Sの被塗布面SFとノズル1との隙間に塗布液を供給して液溜り部を形成し、この状態でノズル1を基板Sに沿って移動させることにより塗布液を塗布するように塗布装置を構成した。また、ノズル1におけるノズル本体13の上部131をガラス等の透明体により構成するとともに、ピンチバルブ92,93の一部を同様に透明体で構成し、これによりノズル1およびピンチバルブ92,93の内部の塗布液の様子を目視確認できるようにした。

Claim (excerpt)：

所定幅の塗布液を基板の被塗布面に向けて供給する細長の液供給口を有するノズル手段と、該ノズル手段に塗布液を給送する供給配管とから構成される塗布液の供給通路を有するとともに、この供給通路の少なくとも一部に、該通路内部の様子を通路外部から目視可能とする可視部を有していることを特徴とする塗布装置。

IPC (4)：

B05C 11/02 , G02F 1/13 101 , H01L 21/027 , H01L 21/31

FI (4)：

B05C 11/02 , G02F 1/13 101 , H01L 21/31 A , H01L 21/30 564 C

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (7)

液体供給装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-177205 Applicant：大日本スクリーン製造株式会社
液体供給装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-297335 Applicant：カトー精工株式会社, 東海理化販売株式会社
塗布装置及び塗布方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-354117 Applicant：ソニー株式会社

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