パルスレーザ装置のパルスエネルギ制御装置と方法

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：木村高久
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995078014
Publication number (International publication number)：1996274399
Application date： Apr. 03, 1995
Publication date： Oct. 18, 1996
Summary：

【要約】【目的】高速で精度よくパルスエネルギを1パルス毎に制御可能なパルスエネルギ制御装置を実現することを目的とする。【構成】露光装置(3)から次に必要とされるパルスのパルスエネルギ値がパルスエネルギコントローラ(5)に入力され、パルスエネルギコントローラ(5)はパルスレーザ装置(1)にエネルギ値を指令するとともにアッテネータ(2)を制御し、所定のパルスエネルギのパルスを露光装置(3)に入力させる。

Claim (excerpt)：

パルスレーザ装置の出力エネルギを制御するパルスレーザ装置のパルスエネルギ制御装置において、パルス毎に必要なパルスエネルギの値を設定するパルスエネルギ設定手段と、前記パルスレーザ装置の出力側に設けられ、出力光の透過率を可変することにより出力光のエネルギを減光する可変減光手段と、前記パルスレーザ装置の出力パルスエネルギの予測値を計算するパルスエネルギ予測手段と、前記パルスエネルギ設定手段の設定値と前記パルスエネルギ予測手段で計算した出力パルスエネルギの予測値とから前記可変減光手段での透過率を計算する透過率計算手段と、前記可変減光手段の透過率を前記透過率計算手段の計算値と一致するよう制御する透過率制御手段とを具備することを特徴とするパルスレーザ装置のパルスエネルギ制御装置。

IPC (5)：

H01S 3/104 , G02B 26/02 , H01L 21/027 , H01S 3/102 , H01S 3/225

FI (7)：

H01S 3/104 , G02B 26/02 B , H01S 3/102 , H01L 21/30 515 B , H01L 21/30 515 D , H01L 21/30 515 C , H01S 3/223 E

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (8)

露光量制御装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-088330 Applicant：株式会社ニコン
特開平4-025830
特開昭63-190333

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