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J-GLOBAL ID：200903062718857598

ネガ型感光性樹脂組成物及びレジストパターン形成方法

Inventor：
今井 玄児

About 今井 玄児

, 
木暮 英雄

About 木暮 英雄


Applicant, Patent owner：
関西ペイント株式会社

About 関西ペイント株式会社


Agent (1)： 若林 忠 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998148891
Publication number (International publication number)：1999258798
Application date： May. 29, 1998
Publication date： Sep. 24, 1999
Summary：
【要約】【課題】安全作業性、作業効率、製品の品質安定性に優れたネガ型感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】最大波長が500〜620nmの範囲内にある比視感度の大きい安全光の照射環境下で使用するネガ型感光性樹脂組成物であり、該組成物が光硬化性樹脂、光反応開始剤、及び必要に応じて光増感色素とを含有した液状もしくは固形状樹脂組成物であって、その組成物から形成される未感光被膜の吸光度が上記安全光の最大波長の範囲から選ばれた最大波長の-30nm〜+30nmの範囲において0.5以下であることを特徴とするネガ型感光性樹脂組成物。
Claim (excerpt)：
最大波長が500〜620nmの範囲内にある比視感度の大きい安全光の照射環境下で使用するネガ型感光性樹脂組成物であり、該組成物が光硬化性樹脂、光反応開始剤、及び必要に応じて光増感色素とを含有した液状もしくは固形状樹脂組成物であって、その組成物から形成される未感光被膜の吸光度が上記安全光の最大波長の範囲から選ばれた最大波長の-30nm〜+30nmの範囲において0.5以下であることを特徴とするネガ型感光性樹脂組成物。
IPC (7)：
G03F 7/038 501 ,  C08L 63/00 ,  C08L101/00 ,  C09D201/00 ,  G03F 7/028 ,  H05K 3/00 ,  H05K 3/06
FI (7)：
G03F 7/038 501 ,  C08L 63/00 Z ,  C08L101/00 ,  C09D201/00 ,  G03F 7/028 ,  H05K 3/00 F ,  H05K 3/06 H
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (6)
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