窒化物系III-V族化合物半導体の成長方法、半導体装置の製造方法および半導体装置

Inventor： , , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：杉浦正知
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998335851
Publication number (International publication number)：2000164988
Application date： Nov. 26, 1998
Publication date： Jun. 16, 2000
Summary：

【要約】【課題】低結晶欠陥密度の高品質の単結晶の窒化物系III-V族化合物半導体を成長させることができる窒化物系III-V族化合物半導体の成長方法、この方法を用いて製造される半導体装置およびその製造方法を提供する。【解決手段】基板上に成長マスクを形成し、この成長マスクを用いて基板上に窒化物系III-V族化合物半導体を選択成長させる場合に、少なくとも最表面が窒化物からなる多層膜を成長マスクとして用いる。成長マスクは、例えば、酸化膜とその上の窒化膜とからなるもの、金属膜とその上の窒化膜とからなるもの、酸化膜とその上の窒化物および酸化物からなる膜とその上の窒化膜とからなるもの、第1の金属膜とその上の第2の金属膜とその上の窒化膜とからなるものなどである。酸化膜はSiO2 膜、窒化膜はTiN膜やSiN膜、窒化物および酸化物からなる膜はSiNO膜、金属膜はTi膜やPt膜などである。

Claim (excerpt)：

基板上に成長マスクを形成し、上記成長マスクを用いて上記基板上に窒化物系III-V族化合物半導体を選択成長させるようにした窒化物系III-V族化合物半導体の成長方法において、上記成長マスクとして、少なくとも最表面が窒化物からなる多層膜を用いることを特徴とする窒化物系III-V族化合物半導体の成長方法。

IPC (2)：

H01S 5/323 , H01L 33/00

FI (2)：

H01S 3/18 673 , H01L 33/00 L

F-Term (18)：

5F041AA40 , 5F041CA04 , 5F041CA05 , 5F041CA33 , 5F041CA34 , 5F041CA40 , 5F041CA46 , 5F041CA65 , 5F041CA82 , 5F073AA04 , 5F073AA61 , 5F073AA74 , 5F073CA07 , 5F073CB04 , 5F073CB05 , 5F073DA05 , 5F073DA30 , 5F073EA29

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (6)

III族窒化物系化合物半導体発光素子およびその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-206360 Applicant：シャープ株式会社
窒化物半導体発光素子
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-013867 Applicant：日亜化学工業株式会社
特開昭60-062178

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Cited by examiner (6)

III族窒化物系化合物半導体発光素子およびその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-206360 Applicant：シャープ株式会社
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特開昭60-062178

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