Pat

J-GLOBAL ID：200903062872682270

気体励起用の電極

Inventor： 水野 彰 ,  稲葉 一弘 ,  飯田 暁光 ,  瑶樹 伸彦
Applicant, Patent owner： 日鉄鉱業株式会社
Agent (1)： 森田 憲一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003037293
Publication number (International publication number)：2004247223
Application date： Feb. 14, 2003
Publication date： Sep. 02, 2004
Summary：

【課題】寿命を延長させ、コスト低減が可能な気体励起用電極を提供する。【解決手段】気体励起用電極40は、円柱状芯電極41と、その円柱状芯電極41を取り囲む円筒状絶縁体鞘体42とを含み、前記電極40の横断面の円の面積に対して、前記円筒状絶縁体鞘体42の断面積が70%以上である。符号43は空隙部であり、空気を充填する。【選択図】 図7

Claim (excerpt)：

円柱状芯電極と、その円柱状芯電極を取り囲む円筒状絶縁体鞘体とを含む、気体励起用の電極であって、前記電極の横断面の円の面積に対して、前記円筒状絶縁体鞘体の断面積が70%以上であることを特徴とする、前記の電極。

IPC (2)：

H05H1/24 ,  B01J19/08

FI (2)：

H05H1/24 ,  B01J19/08 E

F-Term (15)：

4G075AA03 ,  4G075AA37 ,  4G075AA51 ,  4G075BA05 ,  4G075BA06 ,  4G075CA47 ,  4G075CA54 ,  4G075DA02 ,  4G075DA18 ,  4G075EB01 ,  4G075EC21 ,  4G075EE04 ,  4G075FA12 ,  4G075FB06 ,  4G075FC15

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (4)

• 大気圧グロ-放電用電極及び該電極を使用したプラズマ処理方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-009945   Applicant：イーシー化学株式会社, 岡崎幸子, 小駒益弘
• プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-281709   Applicant：松下電工株式会社
• プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2000-155549   Applicant：松下電工株式会社
• 気体の励起装置及び励起方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2002-333978   Applicant：日鉄鉱業株式会社

Cited by examiner (4)

• 大気圧グロ-放電用電極及び該電極を使用したプラズマ処理方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-009945   Applicant：イーシー化学株式会社, 岡崎幸子, 小駒益弘
• プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-281709   Applicant：松下電工株式会社
• プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2000-155549   Applicant：松下電工株式会社
• 気体の励起装置及び励起方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2002-333978   Applicant：日鉄鉱業株式会社