表面処理方法

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：船橋國則
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002021097
Publication number (International publication number)：2003224099
Application date： Jan. 30, 2002
Publication date： Aug. 08, 2003
Summary：

【要約】【課題】超臨界流体を用いた処理のみによって確実に残渣物の除去を行うことが可能な表面処理方法を提供する。【解決手段】構造体が形成された表面を超臨界流体4によって処理する表面処理方法であって、アンモニウム水酸化物,アルカノールアミン,フッ化アミン,フッ化水素酸等を溶解助剤5として超臨界流体4に添加することを特徴としている。また、超臨界流体4には、溶解助剤5と共に界面活性物質6を添加しても良い。界面活性物質6には、極性溶剤を用いても良い。

Claim (excerpt)：

構造体が形成された表面を超臨界流体によって処理する表面処理方法であって、下記式(1)に示すアンモニウム水酸化物を溶解助剤として超臨界流体に添加することを特徴とする表面処理方法。【化1】ただし、式(1)中R1〜R4はそれぞれ独立に、アルキル基、ヒドロキシ置換アルキル基、アリール基、または水素を示す。

IPC (5)：

H01L 21/304 641 , H01L 21/304 647 , B81C 5/00 , C11D 7/50 , H01L 21/308

FI (5)：

H01L 21/304 641 , H01L 21/304 647 Z , B81C 5/00 , C11D 7/50 , H01L 21/308 G

F-Term (12)：

4H003DA14 , 4H003DA15 , 4H003DC03 , 4H003EA31 , 4H003EB13 , 4H003EB14 , 4H003EB19 , 4H003ED32 , 5F043AA01 , 5F043BB28 , 5F043DD06 , 5F043GG10

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

無機汚染除去方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-208037 Applicant：テキサスインスツルメンツインコーポレイテツド
化学的誘導及び抽出による無機汚染物質の除去方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-199998 Applicant：テキサスインスツルメンツインコーポレイテツド
微細構造体の洗浄方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2001-034337 Applicant：株式会社神戸製鋼所

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