液材の微量供給方法

Inventor： , , , , ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (1)：ポレール特許業務法人
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005263435
Publication number (International publication number)：2007075675
Application date： Sep. 12, 2005
Publication date： Mar. 29, 2007
Summary：

【課題】液材の微量供給方法において、微量の液材を高精度に供給できるようにすること。【解決手段】基板に対向してノズル1を配置し、このノズル1に設けられたノズル孔2から基板の所定の位置に液材を供給する液材の微量供給方法であって、ノズル孔2の吐出側と反対側から毛細管現象により液材4を当該ノズル孔2に充填供給する第1の工程と、ノズル孔2の吐出側と反対側に当該ノズル孔2に入りきらずに残った液材4を掻き取り、当該ノズル孔2内に表面張力により残った一定量の液材4を切り分ける第2の工程と、ノズル孔2内に残った一定量の液材4を外力により基板に滴下させる第3の工程とを有する。【選択図】図4

Claim (excerpt)：

基板に対向してノズルを配置し、このノズルに設けられたノズル孔から前記基板の所定の位置に液材を供給する液材の微量供給方法において、前記ノズル孔の吐出側と反対側から毛細管現象により液材を当該ノズル孔に充填供給する第1の工程と、前記ノズル孔の吐出側と反対側に当該ノズル孔に入りきらずに残った液材を掻き取り、当該ノズル孔内に表面張力により残った一定量の液材を切り分ける第2の工程と、前記ノズル孔内に残った一定量の液材を外力により前記基板に滴下させる第3の工程とを有することを特徴とする液材の微量供給方法。

IPC (4)：

B05D 3/00 , B05D 1/26 , G02F 1/13 , G02F 1/134

FI (4)：

B05D3/00 B , B05D1/26 Z , G02F1/13 101 , G02F1/1341

F-Term (24)：

2H088FA09 , 2H088FA30 , 2H088MA17 , 2H088MA20 , 2H089NA22 , 2H089NA60 , 2H089QA12 , 2H089QA14 , 2H089QA16 , 4D075AC07 , 4D075AC09 , 4D075AC57 , 4D075AC63 , 4D075AC84 , 4D075AC93 , 4D075AC94 , 4D075AC95 , 4D075CA47 , 4D075DB13 , 4D075DB31 , 4D075DC19 , 4D075DC21 , 4D075DC24 , 4D075EA07

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (2)

液晶パネルの製造方法、その製造装置および製造システム
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2001-245040 Applicant：シャープ株式会社
液体分注装置および液体分注方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2001-013377 Applicant：オリンパス光学工業株式会社

Cited by examiner (6)

特許第2584528号
液体の塗布方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-319954 Applicant：ノードソン株式会社
多種液体吐出装置、マイクロアレイ作製装置及びマイクロアレイ作製方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2003-118102 Applicant：セイコーエプソン株式会社

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