縦型熱処理装置

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：井上俊夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996271736
Publication number (International publication number)：1998098088
Application date： Sep. 20, 1996
Publication date： Apr. 14, 1998
Summary：

【要約】【課題】処理用被処理基板(処理用ウエハW1)やダミ-用被処理基板(ダミ-ウエハW2)の第1の保持具への移載作業を容易かつ短時間で行ない、またカセット収容部に多数の被処理体カセットを収容すること。【解決手段】移載室21の壁部21aに受け渡し口22を形成し、ここにクロ-ズ型カセット7を装着して、受け渡し口22を臨む位置に設けられたウエハカウンタ63により、カセット7内のウエハW1の配列状況を把握する。移載室21内にダミ-ウエハW2を搭載したダミ-ウエハ用ボ-ト5を設け、前記ウエハW1の配列状況に基づいてダミ-ウエハW2をウエハボ-ト34(44)に移載し、この後ウエハW1をウエハボ-ト34に移載する。このような構成ではダミ-ウエハ用のカセットを用意し、これを受け渡し口22に装着する必要はないので、ウエハW1やダミ-ウエハW2の移載を容易かつ短時間で行うことができる。またカセット収容部に収容するカセット7の数が多くなる。

Claim (excerpt)：

縦型熱処理炉に連通して設けられた移載室と、被処理基板を棚状に配列保持して、縦型熱処理炉と移載室との間で搬送される第1の保持具と、を備えた縦型熱処理装置において、複数の処理用の被処理基板を収納するための蓋付きの密閉型の被処理基板カセットが前記移載室の外部から装着され、前記蓋を外すことにより被処理基板カセット内が移載室内に開放される受け渡し口と、前記移載室内に設けられ、ダミ-用の被処理基板を保持するための第2の保持具と、前記受け渡し口にて被処理基板カセットの蓋が外された後、当該被処理基板カセット内の被処理基板の枚数をカウントするための被処理基板カウンタと、前記受け渡し口に装着された被処理基板カセットと第1の保持具との間で被処理基板を移載すると共に、被処理基板カウンタのカウント結果に基づいて、第2の保持具からダミ-用の被処理基板を第1の保持具に移載して被処理基板の補充を行うための移載手段と、を備えたことを特徴とする縦型熱処理装置。

IPC (5)：

H01L 21/68 , H01L 21/205 , H01L 21/22 511 , H01L 21/31 , H01L 21/324

FI (5)：

H01L 21/68 A , H01L 21/205 , H01L 21/22 511 J , H01L 21/31 E , H01L 21/324 D

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

処理システム
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-307467 Applicant：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン九州株式会社
処理装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-107766 Applicant：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン東北株式会社
被移載体の検出装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-041233 Applicant：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン東北株式会社

Show all

Return to Previous Page