処理装置

Inventor： ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (1)：浅井章弘 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994107766
Publication number (International publication number)：1995297257
Application date： Apr. 22, 1994
Publication date： Nov. 10, 1995
Summary：

【要約】【目的】例えばSMIFポットのようなカセット収容容器を装置内部に取り込んで空になった収容容器を余剰スペースに待機させることにより、装置内を有効利用できるのみならず空容器のストック場所をクリーンルーム内に設ける必要がなく、しかも装置外の作業空間用クリーンルームのクリーン度を従来程高くしなくて済む処理装置を提供する。【構成】搬出入室12のカセット収容容器用ポート13に載置したカセット収容容器14を容器毎取り込み手段15により装置内へ取り込む。この収容容器を容器移載手段18により、装置内に設けた容器保管ステージ16に保管する。この収容容器から被処理体Wを取り出す場合には、収容容器をカセット取り出しステージ17まで搬送して、ここでカセット毎被処理体を取り出す。そして、取り出された被処理体はカセットから移送機構7によりローディング室8内の保持体6に移載され、その後、処理室1にて所定の処理が施されることになる。

Claim (excerpt)：

被処理体に所定の処理を施す処理室と、この処理室に対して前記被処理体を収容した保持体を挿脱する移送機構を有するローディング室と、このローディング室に対して、カセット内に収容されている被処理体を搬出入する搬出入室とを具備する処理装置において、前記搬出入室は、外部との間で前記カセットを搬出入するために、内部が清浄空気或いは不活性ガス雰囲気になされて密閉可能になされた搬送可能なカセット収容容器を設置するためのカセット収容容器用ポートと、このポートに設置された前記カセット収容容器を前記搬出入室内に取り込む取り込み手段と、取り込まれた前記カセット収容容器を一時的に保管する容器保管ステージと、前記カセット収容容器内に収容されたカセットを取り出すためのカセット取り出しステージと、前記容器保管ステージと前記取り込み手段と前記カセット取り出しステージとの間で前記カセット収容容器の受け渡しを行う容器移載手段とを備えたことを特徴とする処理装置。

IPC (4)：

H01L 21/68 , F24F 7/06 , H01L 21/22 511 , H01L 21/31

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (10)

処理装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-059524 Applicant：東京エレクトロン東北株式会社, 株式会社安川電機
クリーンルーム用密閉式コンテナ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-084411 Applicant：神鋼電機株式会社
特開昭62-222625

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