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J-GLOBAL ID：200903063409190909

走査プローブ顕微鏡

Inventor：
天草 貴昭

About 天草 貴昭


Applicant, Patent owner：
日本電子株式会社

About 日本電子株式会社


Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002132592
Publication number (International publication number)：2003329565
Application date： May. 08, 2002
Publication date： Nov. 19, 2003
Summary：
【要約】【目的】 カンチレバと一緒に透明板が振動することにより生ずる分解能の低下を防ぐ。【構成】 液中に光線を安定して導入するため、液面に接するように透明板が設置された液中セルを備えた、カンチレバ先端に設置された探針を試料表面に接近させて試料表面情報を検出する走査プローブ顕微鏡において、透明板が、カンチレバ等より成る振動体とは独立して、液中セル近傍のホルダに保持されている。
Claim (excerpt)：
カンチレバ先端を試料表面に接近させて、物質間に作用する力に基づいて試料表面の情報を検出する走査プローブ顕微鏡であって、液中に前記試料を保持する液中セルと、前記液中セル内の前記試料に対向するよう設置されたカンチレバと、前記液中に光線を安定して導入するため、前記液表面に接するよう保持された透明板と、を備えており、前記透明板が、前記カンチレバとは独立して保持された走査プローブ顕微鏡。
IPC (3)：
G01N 13/16 ,  G01B 21/30 ,  G01N 13/10
FI (3)：
G01N 13/16 A ,  G01B 21/30 ,  G01N 13/10 D
F-Term (20)：
2F069AA60 ,  2F069DD09 ,  2F069DD19 ,  2F069GG01 ,  2F069GG04 ,  2F069GG06 ,  2F069GG07 ,  2F069GG52 ,  2F069GG62 ,  2F069HH05 ,  2F069HH30 ,  2F069JJ15 ,  2F069JJ25 ,  2F069KK10 ,  2F069LL03 ,  2F069LL06 ,  2F069MM23 ,  2F069MM32 ,  2F069MM34 ,  2F069NN10
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (6)
  • 液浸走査型プローブ顕微鏡装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-277924   Applicant：オリンパス光学工業株式会社
  • 走査型プローブ顕微鏡
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-008376   Applicant：オリンパス光学工業株式会社
  • 液中観察機能付き走査型近視野原子間力顕微鏡
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-237730   Applicant：セイコー電子工業株式会社
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