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J-GLOBAL ID：200903063528857610

垂直方向に分離された音響フィルタ及び共鳴器

Inventor：
リチャード シー. ルビー

About リチャード シー. ルビー

, 
ジョン ディー. ラーソン・ザ・サード

About ジョン ディー. ラーソン・ザ・サード


Applicant, Patent owner：
アジレント・テクノロジーズ・インク

About アジレント・テクノロジーズ・インク


Agent (4)： 後藤 政喜 ,  松田 嘉夫 ,  上野 英夫 ,  飯田 雅昭
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005035841
Publication number (International publication number)：2005244966
Application date： Feb. 14, 2005
Publication date： Sep. 08, 2005
Summary：
【課題】 複数の音響共鳴器、音響フィルタを同一基板上に形成する際の実装密度を高めることを可能とする。 【解決手段】 基板上に、集積回路製造プロセス等と同様の手法を用いて複数の音響共鳴器を形成する。基板上に第1の音響共鳴器22、24、26、28が形成され、その上方で垂直方向に離隔して第2の音響共鳴器12a、14a、16aが形成される。第1、第2の音響共鳴器間の空間は、製造プロセス中に第1の音響共鳴器と第2の音響共鳴器との間に堆積した犠牲材料を除去することにより形成される。 【選択図】 図3
Claim (excerpt)：
基板上の第1の音響共鳴器と、 前記第1の音響共鳴器の上方にある第2の音響共鳴器が含まれている装置であって、 前記第2の音響共鳴器が、前記第1の音響共鳴器から垂直方向に離隔されていて、前記第1の音響共鳴器と前記第2の音響共鳴器との間で、音響エネルギがほとんどまたは全く結合されることのないようになっていることを特徴とする装置。
IPC (4)：
H03H9/58 ,  H01L41/08 ,  H01L41/09 ,  H03H9/17
FI (5)：
H03H9/58 A ,  H03H9/17 F ,  H01L41/08 U ,  H01L41/08 J ,  H01L41/08 D
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (7)
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Cited by examiner (8)
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