Pat
J-GLOBAL ID：200903063568501400
感放射線性樹脂組成物
Inventor：
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,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
和気 操
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003360291
Publication number (International publication number)：2005128049
Application date： Oct. 21, 2003
Publication date： May. 19, 2005
Summary：
【課題】 放射線に対する透明性が高く、しかも感度、解像度、ドライエッチング耐性、パターン形状等のレジストとしての基本物性に優れ、特に、レジスト溶剤への溶解性に優れ、現像後のパターン側壁のラフネスを低減する感放射線性樹脂組成物を提供する。【解決手段】 アルカリ不溶性またはアルカリ難溶性であって酸の作用によりアルカリ易溶性となる酸解離性基含有樹脂と、感放射線性酸発生剤とを含有する感放射線性樹脂組成物であって、酸解離性基含有樹脂が、(i)下記式(1)で表される化合物、または、(ii)下記式(1)で表される化合物と、ラジカル重合開始剤および下記式(2)で表されるジテルリド化合物から選ばれる少なくとも1種類以上の化合物との混合物、を用いて重合されたことを特徴とする。【化1】【選択図】 無
Claim (excerpt)：
アルカリ不溶性またはアルカリ難溶性であって酸の作用によりアルカリ易溶性となる酸解離性基含有樹脂と、感放射線性酸発生剤とを含有する感放射線性樹脂組成物であって、
前記酸解離性基含有樹脂は、(i)下記式(1)で表される化合物、または、(ii)下記式(1)で表される化合物と、ラジカル重合開始剤および下記式(2)で表されるジテルリド化合物から選ばれる少なくとも1種類以上の化合物との混合物、を用いて重合されたことを特徴とする感放射線性樹脂組成物。
IPC (3)：
G03F7/039
, C08F4/72
, H01L21/027
G03F7/039 601
, C08F4/72
, H01L21/30 502R
2H025AA01
, 2H025AA02
, 2H025AA03
, 2H025AA09
, 2H025AB16
, 2H025AC08
, 2H025AD03
, 2H025BE00
, 2H025BE10
, 2H025BG00
, 2H025CB14
, 2H025CB41
, 2H025CB56
, 2H025FA17
, 4J015DA33
