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J-GLOBAL ID：200903063638904699

電子ビーム照射装置及び電子ビーム照射装置における真空シール方法

Inventor：
三浦 佳久

About 三浦 佳久

, 
安芸 祐一

About 安芸 祐一


Applicant, Patent owner：
ソニー株式会社

About ソニー株式会社


Agent (1)： 松隈 秀盛
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001054739
Publication number (International publication number)：2002257998
Application date： Feb. 28, 2001
Publication date： Sep. 11, 2002
Summary：
【要約】【課題】 電子ビームコラム15が内蔵される真空チャンバー14に静圧浮上パッド18が連結され、この静圧浮上パッド18が被照射体1に被接触で吸着した状態で電子ビームbが静圧浮上パッド18の電子ビーム通路19を通って被照射体1に照射される構造の部分真空方式の電子ビーム照射装置において、静圧浮上パッド18を被照射体1から離した状態でも真空チャンバー内を所要の真空度に維持できるようにする。【解決手段】 静圧浮上パッド18の内部に、電子ビーム通路19を開閉する真空シールバルブ30を備え、静圧浮上パッド18を被照射体1から離すときにはこの真空シールバルブ30を作動させて電子ビーム通路19を閉じることにより真空チャンバー14内への大気の流入を防ぐ構造とする。
Claim (excerpt)：
電子ビームコラムが内蔵される真空チャンバーに静圧浮上パッドが連結され、この静圧浮上パッドが被照射体に非接触で吸着した状態で電子ビームが静圧浮上パッドの電子ビーム通路を通って被照射体に照射される構造の電子ビーム照射装置において、上記静圧浮上パッドの内部に、上記電子ビーム通路を開閉する真空シールバルブを備えたことを特徴とする電子ビーム照射装置。
IPC (7)：
G21K 5/04 ,  G03F 7/20 501 ,  G03F 7/20 504 ,  G11B 7/26 501 ,  H01J 37/18 ,  H01J 37/20 ,  H01J 37/305
FI (7)：
G21K 5/04 E ,  G03F 7/20 501 ,  G03F 7/20 504 ,  G11B 7/26 501 ,  H01J 37/18 ,  H01J 37/20 Z ,  H01J 37/305 Z
F-Term (15)：
2H097BA02 ,  2H097CA16 ,  2H097DB14 ,  2H097LA20 ,  5C001AA01 ,  5C001AA07 ,  5C001CC08 ,  5C033KK07 ,  5C033KK09 ,  5C034BB06 ,  5D121AA02 ,  5D121BA03 ,  5D121BB32 ,  5D121BB38 ,  5D121BB40
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (7)
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