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J-GLOBAL ID:200903063847787390

保護層を備えた樹脂製光導波路、その製造方法および光部品

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 富田 和子 (外1名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1999291411
Publication number (International publication number):2001074949
Application date: Sep. 05, 1999
Publication date: Mar. 23, 2001
Summary:
【要約】【課題】低屈折率のポリイミド製上部クラッドを有しながら、耐溶剤性の高い光導波路を提供する。【解決手段】基板14と、基板14上に順に積層された、下部クラッド層15とコア層16と上部クラッド層20と、上部クラッド層20の上に配置された保護層24とを有する。上部クラッド層20は、フッ素を含む樹脂からなり、保護層24は、上部クラッド層20よりもフッ素の含有量が少ないか、もしくは、フッ素を含有していない樹脂からなる。
Claim (excerpt):
基板と、前記基板上に順に積層された、下部クラッド層とコア層と上部クラッド層と、前記上部クラッド層の上に配置された保護層とを有し、前記上部クラッド層は、フッ素を含む樹脂からなり、前記保護層は、前記上部クラッド層よりもフッ素の含有量が少ないか、もしくは、フッ素を含有していない材料からなることを特徴とする光導波路。
F-Term (6):
2H047PA02 ,  2H047PA21 ,  2H047PA24 ,  2H047QA05 ,  2H047QA07 ,  2H047TA00
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (11)
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