保護層を備えた樹脂製光導波路、その製造方法および光部品

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：富田和子 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999291411
Publication number (International publication number)：2001074949
Application date： Sep. 05, 1999
Publication date： Mar. 23, 2001
Summary：

【要約】【課題】低屈折率のポリイミド製上部クラッドを有しながら、耐溶剤性の高い光導波路を提供する。【解決手段】基板14と、基板14上に順に積層された、下部クラッド層15とコア層16と上部クラッド層20と、上部クラッド層20の上に配置された保護層24とを有する。上部クラッド層20は、フッ素を含む樹脂からなり、保護層24は、上部クラッド層20よりもフッ素の含有量が少ないか、もしくは、フッ素を含有していない樹脂からなる。

Claim (excerpt)：

基板と、前記基板上に順に積層された、下部クラッド層とコア層と上部クラッド層と、前記上部クラッド層の上に配置された保護層とを有し、前記上部クラッド層は、フッ素を含む樹脂からなり、前記保護層は、前記上部クラッド層よりもフッ素の含有量が少ないか、もしくは、フッ素を含有していない材料からなることを特徴とする光導波路。

F-Term (6)：

2H047PA02 , 2H047PA21 , 2H047PA24 , 2H047QA05 , 2H047QA07 , 2H047TA00

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (14)

フッ素化ポリイミドの表面改良方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-217131 Applicant：日本電信電話株式会社
薄膜積層型光学部品及び要素部品の被覆構造
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-244988 Applicant：富士通株式会社
ポリマー光導波路、光集積回路、及び光モジュール
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-297496 Applicant：株式会社日立製作所, 日立化成工業株式会社

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