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J-GLOBAL ID:200903063847787390
保護層を備えた樹脂製光導波路、その製造方法および光部品
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
富田 和子 (外1名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1999291411
Publication number (International publication number):2001074949
Application date: Sep. 05, 1999
Publication date: Mar. 23, 2001
Summary:
【要約】【課題】低屈折率のポリイミド製上部クラッドを有しながら、耐溶剤性の高い光導波路を提供する。【解決手段】基板14と、基板14上に順に積層された、下部クラッド層15とコア層16と上部クラッド層20と、上部クラッド層20の上に配置された保護層24とを有する。上部クラッド層20は、フッ素を含む樹脂からなり、保護層24は、上部クラッド層20よりもフッ素の含有量が少ないか、もしくは、フッ素を含有していない樹脂からなる。
Claim (excerpt):
基板と、前記基板上に順に積層された、下部クラッド層とコア層と上部クラッド層と、前記上部クラッド層の上に配置された保護層とを有し、前記上部クラッド層は、フッ素を含む樹脂からなり、前記保護層は、前記上部クラッド層よりもフッ素の含有量が少ないか、もしくは、フッ素を含有していない材料からなることを特徴とする光導波路。
F-Term (6):
2H047PA02
, 2H047PA21
, 2H047PA24
, 2H047QA05
, 2H047QA07
, 2H047TA00
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (11)
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フッ素化ポリイミドの表面改良方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平7-217131
Applicant:日本電信電話株式会社
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薄膜積層型光学部品及び要素部品の被覆構造
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平10-244988
Applicant:富士通株式会社
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硬化性組成物
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平7-121916
Applicant:東レ株式会社
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ポリマー光導波路、光集積回路、及び光モジュール
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平9-297496
Applicant:株式会社日立製作所, 日立化成工業株式会社
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耐熱性樹脂組成物
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平4-084825
Applicant:日東電工株式会社
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特開平2-158625
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特開平4-171607
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ポリイミド系前駆体組成物、その製造法、これを用いた半導体装置および光学装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平6-039644
Applicant:日立化成工業株式会社
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ポリイミド光フィルタ、光学部品及び光学部品の製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平9-116247
Applicant:日本電信電話株式会社
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光通信用ポリイミド及びその製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平10-263826
Applicant:三星電子株式会社, 財団法人韓國化學研究所
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特開平2-221904
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