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J-GLOBAL ID：200903063967551756

顕微鏡試料載置用基板及びそれを用いた試料照明方法

Inventor： 加藤 健次 ,  門野 章子
Applicant, Patent owner： 工業技術院長
Agent (1)： 工業技術院物質工学工業技術研究所長
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996071576
Publication number (International publication number)：1997258108
Application date： Mar. 27, 1996
Publication date： Oct. 03, 1997
Summary：

【要約】【課題】極めて狭い設置スペースでも全反射法による試料照明を可能とし、極めて薄い試料や、界面の現象、極微小粒子などをコントラストよく、しかも簡便に観察することを可能とする顕微鏡試料載置用基板及び試料照明方法を提供する。【解決手段】 少なくとも一部がスラブ光導波路層に形成されていることを特徴とする顕微鏡試料載置用基板。上記顕微鏡試料載置用基板のスラブ光導波路層に全反射条件で光を導入することにより、該顕微鏡試料載置用基板上に載置された試料を照明することを特徴とする試料照明方法。

Claim (excerpt)：

少なくとも一部がスラブ光導波路層に形成されていることを特徴とする顕微鏡試料載置用基板。

IPC (6)：

G02B 21/34 ,  G01N 1/28 ,  G01N 21/01 ,  G01N 21/27 ,  G02B 6/122 ,  G02B 21/06

FI (6)：

G02B 21/34 ,  G01N 21/01 B ,  G01N 21/27 E ,  G02B 21/06 ,  G01N 1/28 U ,  G02B 6/12 A

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (8)

• ニアフイールド光学顕微鏡用光導入装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-262235   Applicant：オリンパス光学工業株式会社
• 近接場光学顕微鏡などに使用されるプローブの製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-068223   Applicant：株式会社ニコン
• 走査型近接場光顕微鏡
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-020575   Applicant：オリンパス光学工業株式会社
• 近視野光学顕微鏡
  Gazette classification：公表公報   Application number：特願平6-517415   Applicant：インターナシヨナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーシヨン
• 干渉計および光走査型トンネル顕微鏡および光集積回路
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-200393   Applicant：株式会社日立製作所
• 走査型近距離場光学顕微鏡
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-207946   Applicant：インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション
• 特表平4-505653
  
• 光分析用測定器
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-343046   Applicant：株式会社ニコン