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J-GLOBAL ID:200903064032839790
固体撮像装置およびカメラ
Inventor:
,
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
新居 広守
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2007009428
Publication number (International publication number):2008177362
Application date: Jan. 18, 2007
Publication date: Jul. 31, 2008
Summary:
【課題】カラーフィルタとして多層膜干渉フィルタを用いた場合において、平坦化膜やバリア膜による干渉の影響を低減し、さらに、平坦化膜の膜厚ばらつきによる分光特性のばらつきを抑制し得るカラーフィルタを備える固体撮像装置を提供する。【解決手段】入射光35のうち所定の色の光を透過させるカラーフィルタ29と平坦化膜28、30とバリア膜26、32を備える単位画素(1a、1b、1c)が2次元状に配列された固体撮像装置101であって、前記カラーフィルタ29は高屈折率材料および低屈折率材料からなるλ/4膜からなり、前記バリア膜26、32の光学膜厚は、λ/2に略等しい。【選択図】図3
Claim (excerpt):
設定波長をλとする多層膜構造のカラーフィルタ及びバリア膜を備える単位画素が2次元状に配列された固体撮像装置であって、
前記カラーフィルタは、高屈折率材料又は低屈折率材料から構成され、その光学膜厚がλ/4に略等しく、
前記バリア膜の光学膜厚がλ/2に略等しい
ことを特徴とする固体撮像装置。
IPC (6):
H01L 27/14
, H04N 5/335
, H04N 9/07
, G02B 5/20
, G02B 5/28
, G03B 11/00
FI (6):
H01L27/14 D
, H04N5/335 U
, H04N9/07 D
, G02B5/20 101
, G02B5/28
, G03B11/00
F-Term (29):
2H048BA03
, 2H048BA11
, 2H048BB02
, 2H048BB07
, 2H048BB24
, 2H048BB26
, 2H048BB28
, 2H048BB47
, 2H083AA02
, 2H083AA19
, 2H083AA26
, 4M118BA09
, 4M118CA03
, 4M118CA32
, 4M118GC07
, 4M118GC17
, 4M118GC20
, 4M118GD04
, 4M118GD07
, 5C024AX01
, 5C024CY47
, 5C024DX01
, 5C024EX51
, 5C024GX03
, 5C024GX12
, 5C065BB30
, 5C065BB42
, 5C065CC01
, 5C065EE03
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (4)
-
固体撮像装置の製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平7-059532
Applicant:松下電子工業株式会社
-
オンチップカラーフィルタ及びこれを用いた固体撮像素子
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平10-354731
Applicant:ソニー株式会社
-
固体撮像装置およびその製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平11-052318
Applicant:松下電子工業株式会社
-
国際公開第05/069376号パンフレット
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Cited by examiner (4)