Pat

J-GLOBAL ID：200903064081199977

酸化亜鉛単結晶、それより得られるエピタキシャル成長用基板およびそれらの製造方法

Inventor： 松永 敬浩 ,  宍戸 統悦 ,  中嶋 一雄
Applicant, Patent owner： 東ソー株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005043360
Publication number (International publication number)：2006225213
Application date： Feb. 21, 2005
Publication date： Aug. 31, 2006
Summary：

【課題】酸素と亜鉛とが実質的に化学量論的に等量の組成、すなわちストイキオメトリー組成であって電気比抵抗が極めて高い酸化亜鉛単結晶、この酸化亜鉛単結晶より得られるエピタキシャル成長用基板及びこれらの製造方法を提供する。【解決手段】酸素と亜鉛とが実質的に化学量論的に等量の組成であり、電気比抵抗が1×109Ω・cm以上である酸化亜鉛単結晶、それより得られるエピタキシャル成長用基板およびそれらの製造方法を用いる。【選択図】なし

Claim (excerpt)：

酸素と亜鉛とが実質的に化学量論的に等量の組成であり、電気比抵抗が1×109Ω・cm以上である酸化亜鉛単結晶。

IPC (3)：

C30B 29/16 ,  C30B 7/10 ,  C30B 33/02

FI (3)：

C30B29/16 ,  C30B7/10 ,  C30B33/02

F-Term (10)：

4G077AA02 ,  4G077BB07 ,  4G077CB03 ,  4G077EC05 ,  4G077EJ09 ,  4G077FE03 ,  4G077HA12 ,  4G077KA06 ,  4G077KA09 ,  4G077KA15

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

• 低抵抗p型単結晶酸化亜鉛およびその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-229504   Applicant：科学技術振興事業団
• 酸化亜鉛単結晶
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2004-109729   Applicant：東京電波株式会社, 三菱化学株式会社
• 透明酸化亜鉛の製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-235077   Applicant：ライオン株式会社
• 紫外線検出素子とそれを用いた紫外線検出方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-341697   Applicant：積水化成品工業株式会社
• 酸化亜鉛単結晶の育成方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-276292   Applicant：日本碍子株式会社
• 単結晶育成容器
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2003-159834   Applicant：東京電波株式会社