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J-GLOBAL ID：200903099255696310

温度スイッチを備える粒子-光学装置

Inventor：
ヘルベルト イェルーン ファン デ ウァーテル

About ヘルベルト イェルーン ファン デ ウァーテル

, 
ペトリュース マルティニュス フークス

About ペトリュース マルティニュス フークス


Applicant, Patent owner：
エフ イー アイ カンパニ

About エフ イー アイ カンパニ


Agent (4)： 伊東 忠彦 ,  大貫 進介 ,  伊東 忠重 ,  永坂 均
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2007119663
Publication number (International publication number)：2007299753
Application date： Apr. 27, 2007
Publication date： Nov. 15, 2007
Summary：
【課題】従来技術の問題に対する解決をもたらす。【解決手段】本発明は粒子-光学装置のための熱スイッチに関する。例えば、低温TEM(透視型電子顕微鏡)において、試料ホルダ7の末端20に配置される試料34が、例えば、液体窒素の温度に維持され得る。例えば、顕微鏡を低温から室温に全体的に加熱することなしに、簡単な方法において室温で試料を検査し得る必要がある。熱スイッチ40を使用することによって、これは可能になる。このために、熱スイッチは、装置内の冷源22と試料ホルダ7の末端20との間の熱経路変更し、それによって、1つの位置、位置46aにおいて、末端20から冷源22への接続が行われ、他の位置、位置46bにおいて、室温に維持される装置の一部44に接続が行われる。【選択図】図2
Claim (excerpt)：
末端を備える試料ホルダを備え、前記末端は、そこに取り付けられる試料を有するよう具現化され、 当該装置の冷源を低温に維持するための冷却施設を備え、 前記試料ホルダの前記末端を前記冷源に熱的に接続することによって、前記試料ホルダの前記末端を冷却するための熱接続手段を備える、 粒子-光学装置であって、 前記熱接続手段は、熱スイッチを含み、該熱スイッチは、異なる熱伝導によって区別される少なくとも2つの異なる状態を有し、その結果として、前記試料ホルダの前記末端から前記冷源への熱伝導は、異なる状態のために異なり、それは、動作中、前記熱スイッチの前記異なる状態のために、前記試料ホルダの前記末端の異なる温度をもたらすことを特徴とする、 粒子-光学装置。
IPC (1)：
H01J 37/20
FI (1)：
H01J37/20 E
F-Term (7)：
5C001AA01 ,  5C001AA08 ,  5C001BB01 ,  5C001BB02 ,  5C001CC01 ,  5C001CC04 ,  5C001CC08
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (6)
  • ヒートコンダクタ
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-042686   Applicant：日本電子株式会社
  • 電子顕微鏡装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-342406   Applicant：科学技術庁金属材料技術研究所長
  • 冷却試料観察装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-252962   Applicant：株式会社日立製作所
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Cited by examiner (3)

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