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J-GLOBAL ID：200903064975794591

反射防止フィルム

Inventor：
阿部 能之

About 阿部 能之


Applicant, Patent owner：
住友金属鉱山株式会社

About 住友金属鉱山株式会社


Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001285848
Publication number (International publication number)：2003098305
Application date： Sep. 19, 2001
Publication date： Apr. 03, 2003
Summary：
【要約】【課題】 本発明は、保護膜としてDLC膜を使用した反射防止フィルムにおいて、薄い膜厚で十分な耐久性を確保しうるDLC膜有する反射防止フィルムの提供を課題とする。【解決手段】 該基材の表面に設けられた反射防止膜と、該反射防止膜の表面に設けられた保護膜とから主として構成される反射防止フィルムにおいて、炭化水素とフッ化水素、もしくは炭化水素とフッ化炭素の混合ガスを用いた真空薄膜形成技術により膜厚が1nm〜20nmであり、F/C原子比で0.01〜2.0のフッ素を含むDLC膜を保護膜として形成する。また、DLC膜の厚み方向で、フッ素含有率が反射防止膜側より大気側に向けて連続的に増加するようにすると好ましい。
Claim (excerpt)：
透明な基材と、該基材の表面に設けられた反射防止膜と、該反射防止膜の表面に設けられた保護膜とから主として構成される反射防止フィルムにおいて、保護膜として膜厚が1nm〜20nmであり、F/C原子比で0.01〜2.0のフッ素を含むDLC膜を用いることを特徴とする反射防止フィルム。
IPC (5)：
G02B 1/11 ,  B32B 7/02 103 ,  B32B 9/00 ,  G02B 1/10 ,  G09F 9/00 313
FI (5)：
B32B 7/02 103 ,  B32B 9/00 A ,  G09F 9/00 313 ,  G02B 1/10 A ,  G02B 1/10 Z
F-Term (24)：
2K009AA02 ,  2K009AA15 ,  2K009BB24 ,  2K009CC01 ,  2K009CC02 ,  2K009CC03 ,  2K009CC42 ,  2K009DD03 ,  2K009DD04 ,  4F100AA37C ,  4F100AD11C ,  4F100AS00C ,  4F100BA03 ,  4F100BA10A ,  4F100BA10C ,  4F100BA25C ,  4F100BA42C ,  4F100GB41 ,  4F100JN01A ,  4F100JN06B ,  4F100YY00C ,  5G435AA01 ,  5G435DD12 ,  5G435HH05
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (4)
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