固体撮像素子

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：松隈秀盛
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999103304
Publication number (International publication number)：2000294758
Application date： Apr. 09, 1999
Publication date： Oct. 20, 2000
Summary：

【要約】【課題】固体撮像素子において、カラーレジスト法による微細な原色(赤、緑、青)の色フィルタの形成を可能にし、且つ色再現性の良好化を図る。【解決手段】色素含有ポジ型レジストを用いて赤、緑及び青の3色からなる色フィルタが形成されてなる固体撮像素子であって、緑色フィルタがイエロー系フィルタ層とシアン系フィルタ層の積層で形成され、赤色フィルタが単層若しくはイエロー系フィルタ層と赤系フィルタ層の積層で形成され、青色フィルタが単層で形成されて成る。

Claim (excerpt)：

色素含有ポジ型レジストを用いて赤、緑及び青の3色からなる色フィルタが形成されてなる固体撮像素子であって、緑色フィルタがイエロー系フィルタ層とシアン系フィルタ層の積層で形成され、赤色フィルタ及び青色フィルタが単層で形成されて成ることを特徴とする固体撮像素子。

IPC (3)：

H01L 27/14 , G02B 5/20 101 , H04N 9/07

FI (3)：

H01L 27/14 D , G02B 5/20 101 , H04N 9/07 D

F-Term (23)：

2H048BA45 , 2H048BB02 , 2H048BB03 , 2H048BB10 , 2H048BB13 , 2H048BB37 , 2H048BB46 , 4M118AA10 , 4M118AB01 , 4M118BA10 , 4M118BA14 , 4M118CA03 , 4M118CA40 , 4M118FA06 , 4M118GB11 , 4M118GC08 , 4M118GC17 , 4M118GD04 , 5C065CC01 , 5C065DD02 , 5C065DD15 , 5C065DD17 , 5C065EE06

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (13)

特開平4-234706
カラーフィルタアレイの製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-219481 Applicant：ソニー株式会社
特開昭60-073601

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