Pat
J-GLOBAL ID:200903065944670653
透明導電膜用ターゲットおよび透明導電ガラスならびに透明導電フィルム
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
東平 正道
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1998251200
Publication number (International publication number):2000072526
Application date: Sep. 04, 1998
Publication date: Mar. 07, 2000
Summary:
【要約】【課題】透明性が高くかつ導電性に優れるとともに、従来のITO膜よりも仕事関数が高くて、有機エレクトロルミネッセンス素子などの電極に用いたときに正孔の注入効率がよく、長期間にわたり安定した発光状態を維持することのできる透明導電ガラスや透明導電フィルムを提供すること。【解決手段】酸化インジウムまたは酸化インジウムと酸化亜鉛および/または酸化錫からなる基本的構成成分に、酸化ルテニウム、酸化モリブデン、酸化バナジウムのいずれかを添加成分として特定割合で混合してなる組成物の焼結体と、該焼結体からなるターゲット、および該ターゲットを用いて成膜して得られる透明導電ガラスならびに透明導電フィルム。
Claim (excerpt):
酸化インジウムまたは酸化インジウムと酸化亜鉛および/または酸化錫を、それらの金属原子比において、In/(In+Zn+Sn)=0.80〜1.00Zn/(In+Zn+Sn)=0.00〜0.20Sn/(In+Zn+Sn)=0.00〜0.20の割合で含有し、かつ全金属原子に対して0.5〜10原子%の含有率で酸化ルテニウム、酸化モリブデンおよび酸化バナジウムから選択される金属酸化物を含有する組成物からなる焼結体。
IPC (6):
C04B 35/00
, B32B 9/00
, C03C 17/245
, C23C 14/08
, C23C 14/34
, H01B 13/00 503
FI (6):
C04B 35/00 Z
, B32B 9/00 A
, C03C 17/245 A
, C23C 14/08 D
, C23C 14/34 A
, H01B 13/00 503 B
F-Term (51):
4F100AA17A
, 4F100AA25A
, 4F100AA28A
, 4F100AG00B
, 4F100AK25B
, 4F100AK41B
, 4F100AK43B
, 4F100AK45B
, 4F100AK54B
, 4F100AK55B
, 4F100BA02
, 4F100BA10A
, 4F100BA10B
, 4F100EJ48A
, 4F100GB90
, 4F100JG00
, 4F100JG01A
, 4F100JG04
, 4F100JN01A
, 4F100JN01B
, 4F100YY00
, 4F100YY00A
, 4G030AA10
, 4G030AA23
, 4G030AA26
, 4G030AA32
, 4G030AA34
, 4G030AA39
, 4G030BA02
, 4G030BA15
, 4G030CA08
, 4G059AA08
, 4G059AC14
, 4G059EA03
, 4G059EB04
, 4K029AA09
, 4K029AA11
, 4K029AA24
, 4K029AA25
, 4K029BA50
, 4K029BC09
, 4K029BD00
, 4K029CA05
, 4K029DA08
, 4K029DC05
, 4K029DC09
, 4K029DC34
, 4K029DC39
, 5G323BA02
, 5G323BB04
, 5G323BB05
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (8)
-
特開昭59-163707
-
特開昭59-204625
-
特開平3-078907
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