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J-GLOBAL ID:200903066113764607
自動搬送車
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
朝日奈 宗太 (外3名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1995231225
Publication number (International publication number):1997082773
Application date: Sep. 08, 1995
Publication date: Mar. 28, 1997
Summary:
【要約】【課題】 最小の自動搬送車の台数で最大の搬送効率をうることができる自動搬送車を提供する。【解決手段】 液晶表示装置の製造工程における処理装置にカセットを搬送するための自動搬送車であって、該自動搬送車1は、2個のカセット収容部2a、2bが並設されている。
Claim (excerpt):
液晶表示装置の製造工程における処理装置にカセットを搬送するための自動搬送車であって、該自動搬送車は、複数個のカセット収容部が並設されてなることを特徴とする自動搬送車。
IPC (4):
H01L 21/68
, G02F 1/13 101
, G02F 1/1333 500
, G05D 1/02
FI (4):
H01L 21/68 A
, G02F 1/13 101
, G02F 1/1333 500
, G05D 1/02 P
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (6)
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ウェーハカセット授受装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-235793
Applicant:国際電気株式会社
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特開平4-371419
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物品把持機構における拡縮装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平4-339846
Applicant:澁谷工業株式会社
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特開昭53-119180
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自動搬送装置及びそれを用いた物品の自動搬送方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-005175
Applicant:ソニー株式会社
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ロット自動編成装置及び方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-162832
Applicant:三菱電機株式会社
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