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J-GLOBAL ID：200903066219721176

セラミックス部材

Inventor： 鈴木 敦 ,  大滝 浩通 ,  岸 幸男
Applicant, Patent owner： 株式会社日本セラテック ,  太平洋セメント株式会社
Agent (1)： 高山 宏志
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999368828
Publication number (International publication number)：2001181024
Application date： Dec. 27, 1999
Publication date： Jul. 03, 2001
Summary：

【要約】【課題】 ハロゲン系ガスまたはハロゲンガスプラズマに対する耐性が高く、しかも熱衝撃性が高いセラミックス部材を提供すること。【解決手段】 ハロゲン系ガスまたはハロゲンガスプラズマに曝される部位が、酸化イットリウムを30wt%以上含む酸化物で構成され、気孔率が3%を超え8%以下であるセラミックス部材。

Claim (excerpt)：

ハロゲン系ガスまたはハロゲンガスプラズマに曝される部位が、酸化イットリウムを30wt%以上含む酸化物で構成され、気孔率が3%を超え8%以下であることを特徴とするセラミックス部材。

IPC (4)：

C04B 35/44 ,  C04B 35/00 ,  C04B 35/50 ,  B01J 19/02

FI (4)：

C04B 35/44 ,  C04B 35/50 ,  B01J 19/02 ,  C04B 35/00 H

F-Term (13)：

4G030AA12 ,  4G030AA36 ,  4G030BA33 ,  4G030CA09 ,  4G031AA08 ,  4G031AA29 ,  4G031BA26 ,  4G075AA30 ,  4G075AA53 ,  4G075BC06 ,  4G075BD14 ,  4G075CA47 ,  4G075FB04

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 耐プラズマ部材
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-042604   Applicant：京セラ株式会社
• 耐食性部材
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-201566   Applicant：京セラ株式会社
• YAG系セラミックス原料及びその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-276594   Applicant：第一稀元素化学工業株式会社
• 真空容器及びその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2000-160569   Applicant：京セラ株式会社