改善された研磨パッドの製造方法

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2006020194
Publication number (International publication number)：2006233199
Application date： Jan. 30, 2006
Publication date： Sep. 07, 2006
Summary：

【課題】強度、伸度などの機械特性が均一な相互侵入高分子網目構造体およびその製造方法を提供する。また、研磨時の面内均一性に優れ、連続研磨において研磨レートの低下の小さく、パッド寿命が改良された研磨パッドおよびその製造方法を提供する。【解決手段】エチレン性不飽和化合物、ラジカル重合開始剤、からなるラジカル重合性組成物に高分子成形体を浸漬させる工程、およびラジカル重合性組成物を含浸させた高分子成形体の膨潤状態下においてエチレン性不飽和化合物を重合させる工程、を包含する相互侵入高分子網目構造体の製造方法であって、ラジカル重合性組成物に高分子成形体を浸漬させる工程の前に、ラジカル重合禁止剤を、該ラジカル重合性組成物および/または該高分子成形体に添加する相互侵入高分子網目構造体の製造方法により得られることを特徴とする相互侵入高分子網目構造体およびその製造方法。【選択図】なし

Claim (excerpt)：

エチレン性不飽和化合物、ラジカル重合開始剤、からなるラジカル重合性組成物に高分子成形体を浸漬させる工程、およびラジカル重合性組成物を含浸させた高分子成形体の膨潤状態下においてエチレン性不飽和化合物を重合させる工程、を包含する相互侵入高分子網目構造体の製造方法であって、ラジカル重合性組成物に高分子成形体を浸漬させる工程の前に、ラジカル重合禁止剤を、該ラジカル重合性組成物および/または該高分子成形体に添加する、相互侵入高分子網目構造体の製造方法により得られることを特徴とする相互侵入高分子網目構造体。

IPC (6)：

C08L 57/00 , B24B 37/00 , H01L 21/304 , C08L 101/00 , C08F 2/00 , C08J 9/42

FI (6)：

C08L57/00 , B24B37/00 C , H01L21/304 622F , C08L101/00 , C08F2/00 C , C08J9/42

F-Term (46)：

3C058AA07 , 3C058AA09 , 3C058CA01 , 3C058CA06 , 3C058CB01 , 3C058CB05 , 3C058DA17 , 4F074AA48 , 4F074AA80 , 4F074AA98 , 4F074CE15 , 4F074CE17 , 4F074CE56 , 4F074CE98 , 4F074DA02 , 4F074DA03 , 4F074DA12 , 4F074DA56 , 4J002BG04X , 4J002BG05X , 4J002BG06X , 4J002BG07X , 4J002CK03W , 4J002CK04W , 4J002CK05W , 4J002GQ00 , 4J002GT00 , 4J011CA01 , 4J011CB02 , 4J011CC02 , 4J011NA13 , 4J011NA15 , 4J011NA18 , 4J011NA20 , 4J011NA26 , 4J011NA35 , 4J011NB03 , 4J011PA16 , 4J011PA29 , 4J011PA33 , 4J011PA36 , 4J011PA40 , 4J011PA45 , 4J011PA95 , 4J011PB07 , 4J011PC02

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (2)

国際公開第00/122621号パンフレット
研磨パッドの製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-025752 Applicant：東レ株式会社

Cited by examiner (5)

研磨パッド
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-162375 Applicant：東レ株式会社
研磨パッド
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2001-181708 Applicant：東レ株式会社
研磨性能を高め寿命を延ばす研磨パッド担体
Gazette classification：公表公報 Application number：特願2004-536072 Applicant：サイロクエストインコーポレーテッド

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