薄膜及び薄膜の製造方法およびその薄膜を用いた化学センサ

Inventor： , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (4)：宮崎昭夫 , 石橋政幸 , 岩田慎一 , 緒方雅昭
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005345768
Publication number (International publication number)：2007147556
Application date： Nov. 30, 2005
Publication date： Jun. 14, 2007
Summary：

【課題】本発明は、化学センサの感応膜として、検出する化学物質に適した材料の薄膜の表面積を増加させることを目的としている。【解決手段】本発明は、化学センサの感応膜として用いる薄膜を、微粒子と感応膜材料を混合する工程と、前記微粒子と前記感応膜材料との混合物を薄膜に形成する工程と、前記薄膜を乾燥する工程と、その後、少なくとも前記薄膜の表面に露出する前記微粒子を除去する工程とを有することを特徴とする化学センサ用の薄膜の製造方法である。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

少なくとも微粒子と化学物質を吸着する感応膜材料とを混合する工程と、前記微粒子と前記感応膜材料との混合物を薄膜に形成する工程と、前記薄膜を乾燥する工程と、その後、少なくとも前記薄膜の表面に露出する前記微粒子を除去する工程とを有することを特徴とする化学センサ用の薄膜の製造方法。

IPC (1)：

G01N 5/02

FI (1)：

G01N5/02 A

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (7)

化学センサ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2002-233310 Applicant：三菱電機株式会社, 高井治, 杉村博之, 呉雲影
特許第3646165号
はっ水性被膜、及びその形成方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2001-177046 Applicant：名古屋大学長

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