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J-GLOBAL ID：200903066649379676

着弾ドット測定方法および着弾ドット測定装置、並びに液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器

Inventor：
酒井 寛文

About 酒井 寛文


Applicant, Patent owner：
セイコーエプソン株式会社

About セイコーエプソン株式会社


Agent (1)： 落合 稔
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2007045743
Publication number (International publication number)：2008209218
Application date： Feb. 26, 2007
Publication date： Sep. 11, 2008
Summary：
【課題】着弾ドットの測定を正確かつ効率良く行うことができる着弾ドット測定方法および着弾ドット測定装置を提供する。【解決手段】機能液滴吐出ヘッド17の検査吐出により検査シート上に着弾した機能液滴である着弾ドットDを、白色干渉計181から成る形態測定装置により形状測定する着弾ドット測定方法において、機能液滴吐出ヘッド17を主走査方向に移動させながら、機能液滴吐出ヘッド17の多数の吐出ノズル98を、1つずつ時間間隔をおいて検査吐出させる検査吐出工程と、形態測定装置を、機能液滴吐出ヘッド17に後行し且つ主走査方向に同速で移動させながら、多数の着弾ドットDをそれぞれ形状測定する測定工程と、を備えたものである。【選択図】図10
Claim (excerpt)：
機能液滴吐出ヘッドの検査吐出により検査シート上に着弾した機能液滴である着弾ドットを、干渉計から成る形態測定装置により形状測定する着弾ドット測定方法において、 前記検査シートに対し、前記機能液滴吐出ヘッドを主走査方向に相対的に移動させながら、前記機能液滴吐出ヘッドの多数の吐出ノズルを、1つずつ時間間隔をおいて検査吐出させる検査吐出工程と、 前記検査シートに対し、前記形態測定装置を、前記機能液滴吐出ヘッドに後行し且つ前記主走査方向に同速で相対的に移動させながら、多数の前記着弾ドットをそれぞれ形状測定する測定工程と、を備えたことを特徴とする着弾ドット測定方法。
IPC (8)：
G01B 11/24 ,  B05C 5/00 ,  B05C 11/00 ,  G01B 11/00 ,  G02B 5/20 ,  H05B 33/10 ,  H01L 51/50 ,  G01F 22/00
FI (8)：
G01B11/24 D ,  B05C5/00 101 ,  B05C11/00 ,  G01B11/00 H ,  G02B5/20 101 ,  H05B33/10 ,  H05B33/14 A ,  G01F22/00
F-Term (48)：
2F065AA03 ,  2F065AA20 ,  2F065AA53 ,  2F065AA59 ,  2F065BB05 ,  2F065CC02 ,  2F065CC25 ,  2F065DD03 ,  2F065DD06 ,  2F065FF04 ,  2F065FF52 ,  2F065GG04 ,  2F065GG07 ,  2F065GG24 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ19 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL10 ,  2F065LL12 ,  2F065LL22 ,  2F065LL46 ,  2F065MM03 ,  2F065MM14 ,  2F065MM24 ,  2F065MM28 ,  2F065PP02 ,  2F065QQ23 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ31 ,  2H048BA02 ,  2H048BA11 ,  2H048BA55 ,  2H048BA64 ,  2H048BB41 ,  2H048BB42 ,  3K107AA01 ,  3K107BB01 ,  3K107CC45 ,  3K107GG08 ,  3K107GG36 ,  3K107GG56 ,  4F041AA05 ,  4F041AB01 ,  4F041BA13 ,  4F041BA51 ,  4F042AA06 ,  4F042BA02 ,  4F042DH09
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (4)
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Cited by examiner (3)

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