プラスチック容器内面への炭素膜形成装置および内面炭素膜被覆プラスチック容器の製造方法

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：鈴江武彦 (外5名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001358133
Publication number (International publication number)：2003113469
Application date： Nov. 22, 2001
Publication date： Apr. 18, 2003
Summary：

【要約】【課題】炭素膜のコーティング速度向上と膜質向上を両立させ、膜厚の均一化を図ることが可能なプラスチック容器の内面への炭素膜形成装置を提供する。【解決手段】プラスチック容器が挿入された時にその外周を取り囲む大きさを有する有底円筒状外部電極と、この有底円筒状外部電極内のプラスチック容器内にその長手のほぼ全長にわたって挿入される棒状内部電極と、有底円筒状外部電極を収納し、ガス排気手段を有する真空容器と、棒状内部電極に電力供給部と整合器を介して接続される高高周波電源と、前記有底円筒状外部電極にバイアス用整合器を介して接続されるバイアス用電源とを具備し、前記棒状内部電極は有底筒状でガス供給手段から供給された媒質ガスの導入流路を兼ねた構造を有し、かつその底部もしくは底部から前記プラスチック容器内に挿入された長さの25%までの範囲内の側面領域またはその両方に前記媒質ガスを吹き出すための貫通孔が穿設されていることを特徴とする。

Claim (excerpt)：

被処理物であるプラスチック容器が挿入された時にその外周を取り囲む大きさを有する有底円筒状外部電極と、前記有底円筒状外部電極内の前記プラスチック容器内にその長手のほぼ全長にわたって挿入される棒状内部電極と、前記有底円筒状外部電極を収納する真空容器と、前記真空容器内を排気するガス排気手段と、前記棒状内部電極に電力供給部と整合器を介して接続され、その棒状内部電極に高高周波電力を印加する高高周波電源と、前記円筒状外部電極にバイアス用整合器を介して接続され、その円筒状外部電極にバイアスを印加するバイアス用電源と、を具備し、前記棒状内部電極は、有底筒状でガス供給手段から供給された媒質ガスの導入流路を兼ねた構造を有し、かつその底部もしくは底部から前記プラスチック容器内に挿入された長さの25%までの範囲内の側面領域またはその両方に前記媒質ガスを吹き出すための貫通孔が穿設されていることを特徴とするプラスチック容器内面への炭素膜形成装置。

F-Term (10)：

4K030AA09 , 4K030BA27 , 4K030CA07 , 4K030CA15 , 4K030FA03 , 4K030JA18 , 4K030KA12 , 4K030KA15 , 4K030KA16 , 4K030KA20

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (5)

プラズマリアクタ装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-164688 Applicant：シャープ株式会社
プラスチック容器の成膜装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-057197 Applicant：凸版印刷株式会社
ダイヤモンドライクカーボン膜形成装置およびダイヤモンドライクカーボン膜形成方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-366658 Applicant：大栄精工株式会社

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