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J-GLOBAL ID：200903066912302233
電界放出型電子源アレイ及びその製造方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
平木 祐輔
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000128131
Publication number (International publication number)：2001312953
Application date： Apr. 27, 2000
Publication date： Nov. 09, 2001
Summary：
【要約】【課題】 製造が容易で特性に優れる電界放出型電子源アレイ及びその製造方法を提供する。【解決手段】 別途、製造されたカーボンナノチューブ等の微細繊維状物質13を、電気泳動法により、カソード電極10表面の陽極酸化膜11に形成された細孔12の軸方向に沿って配向するように挿入して形成し、基板面におおよそ垂直方向に方向の揃ったカーボンナノチューブ等の微細繊維状物質を電子放出部とする電界放出型電子源アレイを構成する。
Claim (excerpt)：
支持基板上に形成されたカソード電極と、前記カソード電極上に形成された陽極酸化膜と、前記陽極酸化膜に形成された細孔に、棒状電子放出物質が該棒状電子放出物質の端面を露出させた状態で埋め込まれて構成された電子源と、を有する電界放出型電子源アレイにおいて、前記棒状電子放出物質が、前記細孔の軸方向に沿って配向するように形成されていることを特徴とする電界放出型電子源アレイ。
IPC (4)：
H01J 1/304
, H01J 9/02
, H01J 29/04
, H01J 31/12
H01J 9/02 B
, H01J 29/04
, H01J 31/12 C
, H01J 1/30 F
5C031DD17
, 5C031DD19
, 5C036EF01
, 5C036EF06
, 5C036EF08
, 5C036EG02
, 5C036EG12
Cited by examiner (5)
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