基板処理装置および基板処理システム

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (3)：吉田茂明 , 吉竹英俊 , 有田貴弘
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002246709
Publication number (International publication number)：2004087795
Application date： Aug. 27, 2002
Publication date： Mar. 18, 2004
Summary：

【課題】処理部に動作異常が発生した場合であっても、そのときに処理中の基板が不良であるかを否かを効率よく判定することができる基板処理装置を提供する。【解決手段】プロセス処理を行っているときに(ステップS2)、いずれかの処理ユニットにおける動作異常が検出されると(ステップS3)、その時点で当該処理ユニットで処理中の基板が検査対象基板として設定されるとともに(ステップS4)、検査対象基板についての一連の連続プロセス処理が続行される(ステップS5)。一方、ホストコンピュータは動作異常の内容に応じて検査内容を指定する(ステップS6)。基板処理装置は、その検査内容にしたがって一連の処理が終了した検査対象基板の検査を行い(ステップS7)、検査結果が不良の基板については不良基板専用のキャリアに収納する(ステップS10)。【選択図】図8

Claim (excerpt)：

複数の処理部の間にて基板を所定の順序で搬送しながら各処理部で予め定められた単位処理を行うことで、基板に対して一連の連続プロセス処理を行う基板処理装置であって、基板に対して所定の検査を行う検査部と、前記複数の処理部のいずれかにおける動作異常を検出する異常検出手段と、前記異常検出手段がいずれかの処理部での動作異常を検出した時点で当該処理部にて処理中の基板を検査対象基板として指定する指定手段と、少なくとも前記検査対象基板については前記検査部に搬送する搬送手段と、を備えることを特徴とする基板処理装置。

IPC (4)：

H01L21/027 , G03F7/26 , G05B19/418 , H01L21/68

FI (4)：

H01L21/30 562 , G03F7/26 , G05B19/418 B , H01L21/68 A

F-Term (41)：

2H096AA25 , 2H096CA12 , 2H096GA01 , 3C100AA48 , 3C100AA52 , 3C100AA56 , 3C100BB12 , 3C100BB24 , 3C100BB25 , 3C100BB27 , 3C100EE06 , 5F031CA02 , 5F031CA05 , 5F031FA01 , 5F031FA02 , 5F031FA03 , 5F031FA11 , 5F031FA12 , 5F031GA02 , 5F031GA45 , 5F031JA01 , 5F031JA45 , 5F031JA51 , 5F031MA02 , 5F031MA03 , 5F031MA26 , 5F031MA27 , 5F031MA33 , 5F031NA03 , 5F031PA02 , 5F031PA04 , 5F031PA08 , 5F046AA18 , 5F046CD01 , 5F046CD05 , 5F046DA29 , 5F046DB14 , 5F046DD03 , 5F046DD06 , 5F046JA04 , 5F046LA01

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

基板処理装置及び基板処理方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-164052 Applicant：東京エレクトロン株式会社
基板処理装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-093551 Applicant：東京エレクトロン株式会社
基板処理装置の制御方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-303458 Applicant：大日本スクリーン製造株式会社

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