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J-GLOBAL ID：200903067112538960

表面特性の決定

Inventor：
ペーター シュヴァルツ

About ペーター シュヴァルツ

, 
コンラッド レクス

About コンラッド レクス


Applicant, Patent owner：
ベーユプスィロンカー-ガードネル ゲーエムベーハー

About ベーユプスィロンカー-ガードネル ゲーエムベーハー


Agent (3)： 山本 秀策 ,  安村 高明 ,  森下 夏樹
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2008074670
Publication number (International publication number)：2008268190
Application date： Mar. 21, 2008
Publication date： Nov. 06, 2008
Summary：
【課題】本発明は、表面特性の定量測定のための方法を提供し、解析されるべき表面(8)の、多数の測定値を含んでいる空間的に分解された画像が評価される。【解決手段】方法は、測定値によって特徴付けられ得る特定の物理的な特性を表す画像の表面積(A)を決定するために、測定値を解析するステップと、物理的な特性の結果値(I)を決定するステップであって、この結果値は、測定値を解析することによって決定された表面積(A)全体の物理的な特性の測定値に特有のものである、ステップと、を包含し、結果値に加えて、表面に特有のさらなる値(B)が決定され、このさらなる特徴値(B)は、結果値(I)またはこの結果値に依存する値と共に表示されることを特徴とする、方法。【選択図】図4
Claim (excerpt)：
表面特性の定量測定のための方法であって、多数の測定値を含んでいる解析されるべき表面(8)の空間的に分解された画像が評価され、該方法は、 該測定値によって特徴付けられ得る特定の物理的な特性を表す該画像の表面積(A)を決定するために、該測定値を解析するステップと、 該物理的な特性の結果値(I)を決定するステップであって、該結果値は、該測定値を解析することによって決定された該表面積(A)全体の該物理的な特性の該測定値に特有のものである、ステップと を包含し、該結果値に加えて、該表面に特有のさらなる値(B)が決定され、該さらなる特徴値(B)は、該結果値(I)または該結果値に依存する値と共に表示されること を特徴とする、方法。
IPC (2)：
G01B 11/28 ,  G01N 21/47
FI (2)：
G01B11/28 H ,  G01N21/47 B
F-Term (28)：
2F065AA58 ,  2F065BB01 ,  2F065CC11 ,  2F065FF04 ,  2F065FF44 ,  2F065GG00 ,  2F065HH00 ,  2F065JJ19 ,  2F065JJ26 ,  2F065QQ08 ,  2F065QQ14 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ29 ,  2F065QQ31 ,  2F065QQ42 ,  2F065SS02 ,  2F065SS03 ,  2G059AA02 ,  2G059BB08 ,  2G059EE02 ,  2G059EE13 ,  2G059KK04 ,  2G059MM01 ,  2G059MM02 ,  2G059MM03 ,  2G059MM05 ,  2G059MM10
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (11)
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Cited by examiner (11)
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