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J-GLOBAL ID：200903067425618558

感放射線性樹脂組成物

Inventor： 岡本 健司 ,  黒川 光雄
Applicant, Patent owner： JSR株式会社
Agent (1)： 和気 操
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002073000
Publication number (International publication number)：2003270788
Application date： Mar. 15, 2002
Publication date： Sep. 25, 2003
Summary：

【要約】【課題】 放射線に対する透明性が高く、感度、解像度、ドライエッチング耐性、パターン形状等のレジストに要求される基本性能を満たすとともに、レジスト保管時に異物の発生、増加が起こらない。【解決手段】 アルカリ不溶性またはアルカリ難溶性であって酸の作用によりアルカリ易溶性となる酸解離性基含有樹脂と、感放射線性酸発生剤とを含有し、上記酸解離性基含有樹脂は該樹脂中に含まれるモノマーを主成分とする低分子量成分が固形分換算にて上記樹脂全体に対して0.5重量%以下であることを特徴とする。

Claim (excerpt)：

アルカリ不溶性またはアルカリ難溶性であって酸の作用によりアルカリ易溶性となる酸解離性基含有樹脂と、感放射線性酸発生剤とを含有する感放射線性樹脂組成物であって、前記酸解離性基含有樹脂は該樹脂中に含まれるモノマーを主成分とする低分子量成分が固形分換算にて前記酸解離性基含有樹脂全体に対して0.5重量%以下であることを特徴とする感放射線性樹脂組成物。

IPC (5)：

G03F 7/039 601 ,  C08F 20/18 ,  C08F 20/28 ,  G03F 7/004 501 ,  H01L 21/027

FI (5)：

G03F 7/039 601 ,  C08F 20/18 ,  C08F 20/28 ,  G03F 7/004 501 ,  H01L 21/30 502 R

F-Term (24)：

2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA09 ,  2H025AB16 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE10 ,  2H025BG00 ,  2H025CB14 ,  2H025CB41 ,  2H025CC20 ,  2H025FA17 ,  4J100AL02Q ,  4J100AL08P ,  4J100AL08Q ,  4J100BA11P ,  4J100BC01Q ,  4J100BC53P ,  4J100CA01 ,  4J100CA04 ,  4J100DA38 ,  4J100DA39 ,  4J100JA38

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

• 化学増幅型ポジ型レジスト組成物及びスルホニウム塩
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2000-255119   Applicant：住友化学工業株式会社
• レジスト材料及びレジストパターンの形成方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-277570   Applicant：富士通株式会社
• 酸感応性重合体、レジスト組成物、レジストパターン形成方法、および半導体装置の製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-165935   Applicant：富士通株式会社
• 感放射線性組成物
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-228833   Applicant：ジェイエスアール株式会社
• 感放射線性樹脂組成物
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-347331   Applicant：ジェイエスアール株式会社