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J-GLOBAL ID:200903067586738898

非晶質炭素被覆部材

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 鎌田 文二 (外2名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2001016954
Publication number (International publication number):2001316800
Application date: Jan. 25, 2001
Publication date: Nov. 16, 2001
Summary:
【要約】【課題】 密着性が充分な非晶質炭素被膜を被覆した非常に高い面圧下で使用される機械部品や、切削工具、金型を提供する。【解決手段】 非晶質炭素被覆部材の構造を、基材1上に周期律表第IVa 、Va、VIa 、IIIbおよびC以外のIVb 族元素のなかから選ばれた少なくとも1つの元素、またはこれらのなかから選ばれた少なくとも1つの元素の炭化物からなる中間層2が形成され、この中間層2上に非晶質炭素膜3が形成された構造とし、中間層2の厚さを0.5nm 以上10nm未満とする。
Claim (excerpt):
基材と、その上に形成された中間層、さらにその上に形成された非晶質炭素膜とを備えた非晶質炭素被覆部材であって、中間層が周期律表第IVa 、Va、VIa 、IIIb族元素およびC以外のIVb 族元素の元素群から選ばれた少なくとも1つの元素、またはこの元素群から選ばれた少なくとも1つの元素の炭化物からなり、厚さが0.5nm 以上10nm未満であることを特徴とする非晶質炭素被覆部材。
IPC (3):
C23C 14/06 ,  B23B 27/14 ,  C23C 16/24
FI (5):
C23C 14/06 B ,  C23C 14/06 F ,  C23C 14/06 P ,  B23B 27/14 A ,  C23C 16/24
F-Term (55):
3C046FF02 ,  3C046FF03 ,  3C046FF04 ,  3C046FF10 ,  3C046FF11 ,  3C046FF12 ,  3C046FF13 ,  3C046FF17 ,  3C046FF19 ,  3C046FF20 ,  3C046FF25 ,  4K029AA02 ,  4K029AA04 ,  4K029BA02 ,  4K029BA03 ,  4K029BA07 ,  4K029BA11 ,  4K029BA16 ,  4K029BA17 ,  4K029BA34 ,  4K029BA35 ,  4K029BA54 ,  4K029BA55 ,  4K029BA58 ,  4K029BB02 ,  4K029BC02 ,  4K029BD03 ,  4K029BD05 ,  4K029CA01 ,  4K029CA03 ,  4K029CA05 ,  4K029DD06 ,  4K029EA01 ,  4K030AA10 ,  4K030BA01 ,  4K030BA02 ,  4K030BA06 ,  4K030BA12 ,  4K030BA17 ,  4K030BA18 ,  4K030BA20 ,  4K030BA22 ,  4K030BA27 ,  4K030BA30 ,  4K030BA36 ,  4K030BA38 ,  4K030BA41 ,  4K030BB12 ,  4K030CA02 ,  4K030CA05 ,  4K030FA01 ,  4K030HA01 ,  4K030JA01 ,  4K030JA20 ,  4K030LA21
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (7)
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