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J-GLOBAL ID：200903035086503712

硬質炭素被膜基板及びその形成方法

Inventor：
堂本 洋一

About 堂本 洋一

, 
平野 均

About 平野 均

, 
蔵本 慶一

About 蔵本 慶一


Applicant, Patent owner：
三洋電機株式会社

About 三洋電機株式会社


Agent (1)： 目次 誠 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997216319
Publication number (International publication number)：1998130865
Application date： Aug. 11, 1997
Publication date： May. 19, 1998
Summary：
【要約】【課題】 硬質炭素被膜33の基板31に対する密着性を向上し、耐剥離性を改善する。【解決手段】 Al、Cr、Sn、Co、及びB、並びにこれらの酸化物、窒化物、及び炭化物からなるグループより選ばれる少なくとも一種を主成分とする中間層32を、基板31と硬質炭素被膜33との間に設けることを特徴としている。
Claim (excerpt)：
基板と、前記基板上に設けられ、Al、Cr、Sn、Co、及びB、並びにこれらの酸化物、窒化物、及び炭化物からなるグループより選ばれる少なくとも一種を主成分とする中間層と、前記中間層上に設けられる硬質炭素被膜とを備える硬質炭素被膜基板。
IPC (3)：
C23C 28/00 ,  C23C 14/06 ,  C23C 16/26
FI (3)：
C23C 28/00 B ,  C23C 14/06 F ,  C23C 16/26
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (39)
  • 特開平2-120245
  • 硬質炭素膜被覆部材の製造方法
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-029491   Applicant：セイコー電子工業株式会社
  • 特開平4-232249
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