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J-GLOBAL ID：200903068536631290

表面改質ITO膜、その表面処理方法およびそれを用いた電荷注入型発光素子

Inventor： 橋本 雄一 ,  妹尾 章弘 ,  上野 和則 ,  真下 精二
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 渡辺 徳廣
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998319880
Publication number (International publication number)：2000133466
Application date： Oct. 23, 1998
Publication date： May. 12, 2000
Summary：

【要約】【課題】 面抵抗の増加を引き起こすことなくITO膜の仕事関数を増加させるITO膜の表面処理方法、および表面改質を行ったITO膜を有機発光素子の陽極として用いることで極めて輝度の高い電荷注入型発光素子を得ることができる。【解決手段】 10〜80eVのエネルギー範囲にある酸素イオン又は電子をITO膜に照射して表面改質を行うITO膜の表面処理方法、およびその表面改質を行った表面改質ITO膜を電極として用いた電荷注入型発光素子。

Claim (excerpt)：

10〜80eVのエネルギー範囲にある酸素イオン又は電子をITO膜に照射して表面改質を施したことを特徴とする表面改質ITO膜。

IPC (3)：

H05B 33/28 ,  C23C 14/48 ,  H05B 33/14

FI (3)：

H05B 33/28 ,  C23C 14/48 A ,  H05B 33/14 A

F-Term (17)：

3K007AB00 ,  3K007AB02 ,  3K007CA01 ,  3K007CB01 ,  3K007DA00 ,  3K007DB03 ,  3K007FA00 ,  3K007FA01 ,  3K007FA03 ,  4K029BA50 ,  4K029BC09 ,  4K029BD00 ,  4K029CA00 ,  4K029CA10 ,  4K029EA09 ,  4K029GA00 ,  4K029GA02

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 透明導電膜及びその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-310452   Applicant：凸版印刷株式会社
• 特開平4-308616
  
• 有機薄膜EL素子
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-239239   Applicant：株式会社リコー
• 導電層のプラズマ処理
  Gazette classification：公表公報   Application number：特願平10-501839   Applicant：ザトラスティーズオブプリンストンユニバーシテイ