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J-GLOBAL ID：200903068976531034

吸着固定用シート

Inventor： 飯田 博之 ,  長井 陽三 ,  森山 順一 ,  矢野 周治 ,  橘 俊光
Applicant, Patent owner： 日東電工株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995170821
Publication number (International publication number)：1997022935
Application date： Jul. 06, 1995
Publication date： Jan. 21, 1997
Summary：

【要約】【目的】 液晶用ガラス板や半導体ウェハの精密切断、液晶用ガラス板や半導体ウェハの精密塗工、偏光板と位相差板あるいはこれらとガラス板との精密貼り合わせ等を吸着固定法により行う場合に用いる吸着固定用シートを提供する。【構成】 プラスチック多孔質シートから成り、摩擦係数が0.3以下であり、且つ、摩耗量が0.1mm以下であることを特徴とするシートである。

Claim (excerpt)：

摩擦係数が0.3以下であり、且つ、摩耗量が0.1mm以下であるプラスチック多孔質シートから成る吸着固定用シート。

IPC (7)：

H01L 21/68 ,  B28D 7/04 ,  C08J 9/24 ,  G02F 1/13 101 ,  H01L 21/301 ,  C08L 23:04 ,  C08L 77:02

FI (5)：

H01L 21/68 P ,  B28D 7/04 ,  C08J 9/24 ,  G02F 1/13 101 ,  H01L 21/78 M

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (5)

• 特開昭63-256325
  
• 低発塵性の装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-334738   Applicant：株式会社ニコン
• ポリアミド樹脂組成物
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-205810   Applicant：日本合成ゴム株式会社
• 搬送アーム
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-319060   Applicant：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン山梨株式会社
• ウエハ保持装置及びウエハ収納カセット
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-072069   Applicant：大日本スクリーン製造株式会社

Cited by examiner (5)

• 特開昭63-256325
  
• 低発塵性の装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-334738   Applicant：株式会社ニコン
• ポリアミド樹脂組成物
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-205810   Applicant：日本合成ゴム株式会社
• 搬送アーム
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-319060   Applicant：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン山梨株式会社
• ウエハ保持装置及びウエハ収納カセット
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-072069   Applicant：大日本スクリーン製造株式会社