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J-GLOBAL ID:200903069166756230
ロータリージョイント
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Agent (3):
前田 均
, 西出 眞吾
, 大倉 宏一郎
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2002179996
Publication number (International publication number):2004019912
Application date: Jun. 20, 2002
Publication date: Jan. 22, 2004
Summary:
【課題】ロータリージョイントに於いて、被密封流体に潤滑作用がなくとも密封環の摩擦係数を低減すると共に、密封環の摺動時に発生する摩耗粉が被密封流体に混入して悪影響となるのを防止することにある。【解決手段】本体60の内周面60Cとロータ50の外周面50Cとの間の第1及び第2流体通路60A、60Dと第1及び第2連通路3A、3Bとを連通させる接続通路26A、26Bの軸方向側方に配置されて第1及び第2流体通路60A、60Dと第1及び第2連通路3A、3Bとを密封に連通させるメカニカルシール2を具備し、第2流体通路から第2連通路に流入する被密封流体をシールするメカニカルシールは回転用密封環15又は固定用密封環25の少なくとも一方の密封環が樹脂材製にしたものである。【選択図】 図2
Claim (excerpt):
内周面を有すると共に前記内周面と外周面に通じる流体通路を有する本体と、前記本体の内周面内に回転自在に配置された外周面を有すると共に前記流体通路に連通する連通路を有するロータと、前記本体の内周面と前記ロータの外周面との間の前記流体通路と前記連通路とを連通させる接続通路の外部との接続間を密封して前記流体通路と前記連通路とを連通させるメカニカルシールとを具備し、前記接続通路のうち前記流体通路から前記連通路へ流入する被密封流体をシールする前記メカニカルシールは回転用密封環又は固定用密封環のうちの少なくとも一方の密封環が樹脂材製に構成されていることを特徴とするロータリージョイント。
IPC (4):
F16L27/08
, B24B37/00
, F16J15/34
, H01L21/304
FI (4):
F16L27/08 Z
, B24B37/00 K
, F16J15/34 F
, H01L21/304 622E
F-Term (16):
3C058AC04
, 3C058CB06
, 3C058CB07
, 3H104JA04
, 3H104JB01
, 3H104JC10
, 3H104JD09
, 3H104LF06
, 3H104MA10
, 3J041AA04
, 3J041BA08
, 3J041BC02
, 3J041BD06
, 3J041DA05
, 3J041DA11
, 3J041DA14
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (4)
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多流路形ロータリジョイント
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平11-328369
Applicant:日本ピラー工業株式会社
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多流路形ロータリジョイント
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2000-183838
Applicant:日本ピラー工業株式会社
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研磨装置の研磨面洗浄方法及び洗浄装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2000-047694
Applicant:株式会社荏原製作所
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基板処理装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平9-142341
Applicant:大日本スクリーン製造株式会社
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