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J-GLOBAL ID：200903069300313618
感放射線性樹脂組成物
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
福沢 俊明
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995264693
Publication number (International publication number)：1997090635
Application date： Sep. 20, 1995
Publication date： Apr. 04, 1997
Summary：
【要約】【課題】 解像度、感度、露光後ベーク条件に対するパターン形状の安定性、塗布性等の特性バランスに優れた化学増幅型レジストとして有用なポジ型またはネガ型の感放射線性樹脂組成物を提供する。【解決手段】 (1)ポジ型感放射線性樹脂組成物は、(1-1) ハロシクロアルカンスルホネート化合物および/またはハロシクロアルケンスルホネート化合物からなる感放射線性酸形成剤(a)並びに酸解離性基含有樹脂を含有するか、(1-2) 前記感放射線性酸形成剤(a)、アルカリ可溶性樹脂並びに溶解制御剤を含有し、また(2)ネガ型感放射線性樹脂組成物は、前記感放射線性酸形成剤(a)、アルカリ可溶性樹脂並びに架橋剤を含有する。
Claim (excerpt)：
(A)下記式(1)で表されるハロシクロアルカンスルホネート化合物およびハロシクロアルケンスルホネート化合物の群から選ばれる感放射線性酸形成剤、並びに(B)(イ)酸解離性基で保護されたアルカリ不溶性またはアルカリ難溶性の樹脂であって、該酸解離性基が解離したときにアルカリ可溶性となる樹脂、または(ロ)アルカリ可溶性樹脂、および該アルカリ可溶性樹脂のアルカリ溶解性を制御する性質を有し、酸の存在下で分解されて、該アルカリ可溶性樹脂のアルカリ溶解性を制御する作用を低下もしくは消失させるか、あるいは該アルカリ可溶性樹脂のアルカリ溶解性を促進させる作用を発現する化合物を含有することを特徴とするポジ型感放射線性樹脂組成物。【化1】〔式(1)において、Zは環構成炭素原子数が3〜20のシクロアルキル基および/またはシクロアルケニル基を有する(n+1)価の環式基を示し、Xはハロゲン原子を示し、Rは1価の有機基を示し、nは1〜30の整数である。〕
IPC (3)：
G03F 7/039 501
, G03F 7/004 503
, H01L 21/027
G03F 7/039 501
, G03F 7/004 503
, H01L 21/30 502 R
