材料厚さの非接触測定方法及び装置

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：高矢諭 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001340664
Publication number (International publication number)：2002213936
Application date： Nov. 06, 2001
Publication date： Jul. 31, 2002
Summary：

【要約】【課題】被測定材料が高温の場合や、測定環境の振動、材料移動等がある場合においても、材料の厚さを、簡単な装置構成で、非接触且つ高精度で測定する。【解決手段】超音波発生用レーザー20の照射位置と光学的超音波検出装置30による検出位置の距離dを、表面波26の伝搬時間に基づいて実測し、この値と縦波あるいは横波の伝搬時間を用いて材料10の厚さDを算出する。

Claim (excerpt)：

被測定物の表面にレーザーを照射して、被測定物の内部に伝搬する超音波縦波又は横波及び被測定物の表面に沿って伝搬する超音波表面波を発生させると共に、上記表面上の上記照射位置と異なる位置において上記超音波縦波又は横波及び超音波表面波を検出し、超音波縦波又は横波の被測定物内部の伝搬時間及び超音波表面波の被測定物表面の伝搬時間を計測し、上記被測定物における超音波表面波の音速と上記超音波表面波の伝搬時間から、上記レーザー照射位置と超音波検出位置の距離を求め、上記被測定物における超音波縦波又は横波の音速と上記超音波縦波又は横波の伝搬時間、及び、上記レーザー照射位置と超音波検出位置の距離から、被測定物の厚さを求めることを特徴とする材料厚さの非接触測定方法。

IPC (2)：

G01B 17/02 , G01N 29/00 501

FI (2)：

G01B 17/02 Z , G01N 29/00 501

F-Term (29)：

2F068AA28 , 2F068BB01 , 2F068BB09 , 2F068CC15 , 2F068CC16 , 2F068FF12 , 2F068FF14 , 2F068FF25 , 2F068GG07 , 2F068JJ05 , 2F068JJ12 , 2F068JJ22 , 2F068KK12 , 2F068QQ44 , 2G047AA07 , 2G047AB01 , 2G047AB02 , 2G047BA03 , 2G047BC18 , 2G047CA04 , 2G047CB01 , 2G047CB02 , 2G047CB03 , 2G047DA01 , 2G047EA10 , 2G047EA14 , 2G047GD01 , 2G047GG30 , 2G047GG31

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

超音波計測装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-276656 Applicant：株式会社東芝, 東芝エンジニアリング株式会社
超音波を用いた距離測定方法及び装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-357332 Applicant：日本鋼管株式会社, 株式会社ジャパンテクノメイト
レーザ及び超音波に基づく材料の分析システム及びその方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-240199 Applicant：テクストロンデフェンスシステムズディビジョンオブアブココーポレーション

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