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J-GLOBAL ID：200903070373306421

薬液処理装置

Inventor：
中村 元則

About 中村 元則

, 
岩月 雅弥

About 岩月 雅弥


Applicant, Patent owner：
エスティ・エルシーディ株式会社

About エスティ・エルシーディ株式会社


Agent (1)： 特許業務法人田治米国際特許事務所
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004059403
Publication number (International publication number)：2005251936
Application date： Mar. 03, 2004
Publication date： Sep. 15, 2005
Summary：
【課題】 薬液処理を停止させることなく、フィルターなどの濾過部材の交換又は再生処理ができる薬液処理装置及び薬液処理方法を提供する。【解決手段】 薬液タンク1、薬液処理槽2、薬液循環ラインLa、並びに薬液循環ラインLaに設置されたポンプP1及び第1の濾過部材3aからなる薬液処理装置100は、薬液循環ラインLaに第1の濾過部材3aと並列に第2の濾過部材3bが設置されている。ここで、薬液処理装置100は、第1の濾過部材3aと第2の濾過部材3bとが並列に接続されている洗浄液循環ラインLbを更に有する。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
薬液を貯液する薬液タンク、 被処理物を薬液で処理するための薬液処理槽、 薬液タンクと薬液処理槽との間で薬液を循環させる薬液循環ライン、並びに 薬液循環ラインに設置された、薬液を循環させるためのポンプ及び循環する薬液を濾過するための第1の濾過部材 からなる薬液処理装置において、 薬液循環ラインに第1の濾過部材と並列に第2の濾過部材が設置されており、 第1の濾過部材と第2の濾過部材にそれぞれ独立的に薬液又は洗浄液を任意に選択して循環できるように且つ第1の濾過部材又は第2の濾過部材に薬液が循環している場合にそれぞれ第2の濾過部材又は第1の濾過部材に洗浄液を循環させることができるように、第1の濾過部材と第2の濾過部材とが並列に接続されている洗浄液循環ラインが更に設けられていることを特徴とする薬液処理装置。
IPC (2)：
H01L21/306 ,  H01L21/304
FI (4)：
H01L21/306 J ,  H01L21/304 647A ,  H01L21/304 647B ,  H01L21/304 647Z
F-Term (6)：
5F043AA31 ,  5F043BB22 ,  5F043EE24 ,  5F043EE25 ,  5F043EE30 ,  5F043EE40
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (3)

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