Pat
J-GLOBAL ID：200903070448039564

濃度分布測定装置及びそれを用いた濃度分布測定方法

Inventor：
小島 哲彦

About 小島 哲彦


Applicant, Patent owner：
シャープ株式会社

About シャープ株式会社


Agent (3)： 前田 弘 ,  竹内 祐二 ,  中山 和俊
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2006025563
Publication number (International publication number)：2007205914
Application date： Feb. 02, 2006
Publication date： Aug. 16, 2007
Summary：
【課題】高速測定が可能で、センサデバイスの配置に関する制約が小さい濃度測定分布装置及びそれを用いた濃度分布測定方法を提供する。【解決手段】濃度分布測定装置10は、絶縁性基板16と、複数の走査線17及び複数の信号線18と、複数の走査線17と複数の信号線18との各交差部に設けられて全体としてマトリクスを構成する複数のセンサ部21と、複数の走査線17と複数の信号線18との各交差部において、各交差部の対応する走査線17、信号線18及びセンサ部21のそれぞれに電気的に接続されたスイッチング素子22と、を備えたアクティブマトリクス基板11と、アクティブマトリクス基板11の複数のセンサ部21に交流のプローブ光70を照射するように設けられた光源13と、を備えたことを特徴とする。【選択図】図1
Claim (excerpt)：
絶縁性基板と、 上記絶縁性基板上に、互いに平行に延びるように設けられた複数の走査線と、 上記絶縁性基板上の上記複数の走査線とは異なる層に、該複数の走査線と直交する方向に互いに平行に延びるように設けられた複数の信号線と、 上記複数の走査線と上記複数の信号線との各交差部に設けられて全体としてマトリクスを構成し、各々が半導体層を有する複数のセンサ部と、 上記複数の走査線と上記複数の信号線との各交差部において、各交差部の対応する走査線、信号線及びセンサ部のそれぞれに電気的に接続されたスイッチング素子と、 を備えたアクティブマトリクス基板と、 上記アクティブマトリクス基板の複数のセンサ部に交流のプローブ光を照射するように設けられた光源と、 を備えた濃度分布測定装置。
IPC (2)：
G01N 27/416 ,  G01N 27/30
FI (2)：
G01N27/46 U ,  G01N27/30 F
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (3)

Return to Previous Page

TOP

BOTTOM