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J-GLOBAL ID：200903070667297110

交換結合膜およびそれを用いた磁気抵抗効果素子

Inventor： 吉川 将寿 ,  福家 ひろみ ,  斉藤 和浩 ,  岩崎 仁志
Applicant, Patent owner： 株式会社東芝
Agent (1)： 須山 佐一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998234578
Publication number (International publication number)：2000068569
Application date： Aug. 20, 1998
Publication date： Mar. 03, 2000
Summary：

【要約】【課題】 耐食性や熱特性に優れるMn合金からなる反強磁性膜の特性を高めることによって、交換結合膜のブロッキング温度や交換結合磁界などの交換結合特性を向上させる。そのような交換結合膜を使用することによって、磁気抵抗効果素子の出力特性や長期信頼性を向上させる。【解決手段】 R-Mn(RはIr、Rh、Pt、Au、Ag、Co、Pd、Ni、Cr、Ge、Ru、ReおよびCuから選ばれる少なくとも 1種の元素)を含み、かつ面心立方晶構造を有する反強磁性合金からなる反強磁性膜3と、これと交換結合された強磁性膜4とを具備する交換結合膜2であって、反強磁性膜3はその (111)面が膜面に平行に成長しており、かつX線回折による (111)ピークのロッキングカーブ半値幅が10.0度以下である。磁気抵抗効果素子、上記した交換結合膜と、この交換結合膜のうち少なくとも強磁性膜に電流を流す電極とを具備する。

Claim (excerpt)：

R-Mn(ただし、RはIr、Rh、Pt、Au、Ag、Co、Pd、Ni、Cr、Ge、Ru、ReおよびCuから選ばれる少なくとも 1種の元素を示す)を含み、かつ少なくとも面心立方晶構造を有する合金を用いた反強磁性膜と、前記反強磁性膜と交換結合された強磁性膜とを具備する交換結合膜において、前記反強磁性膜は、その (111)面が膜面に略平行に成長しており、かつX線回折による (111)ピークのロッキングカーブ半値幅が10.0度以下であることを特徴とする交換結合膜。

IPC (3)：

H01L 43/08 ,  G11B 5/39 ,  H01F 10/32

FI (3)：

H01L 43/08 Z ,  G11B 5/39 ,  H01F 10/08 A

F-Term (7)：

5D034BA05 ,  5D034BA08 ,  5D034CA02 ,  5E049AA04 ,  5E049AC00 ,  5E049AC05 ,  5E049BA12

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

• 磁気抵抗効果膜,磁気ヘッドおよび磁気記録再生装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-221430   Applicant：株式会社日立製作所
• 磁気抵抗効果素子及び磁気抵抗効果センサ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-011572   Applicant：日本電気株式会社
• 磁気抵抗効果膜
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-221472   Applicant：日立金属株式会社
• 磁気抵抗スピン・バルブ・センサおよびこのセンサを使用した磁気記録システム
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-206311   Applicant：インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション
• 磁気抵抗効果型ヘッドおよびその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-341744   Applicant：日本電気株式会社
• 磁性多層膜、磁気抵抗効果素子および磁気変換素子
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-175490   Applicant：ティーディーケイ株式会社