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J-GLOBAL ID：200903070932557065
ガラス状炭素製ダミーウエハ
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
穂高 哲夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997264444
Publication number (International publication number)：1999102847
Application date： Sep. 29, 1997
Publication date： Apr. 13, 1999
Summary：
【要約】【課題】 IC製造工程における治具や機械類の動作試験等を目的として、シリコンウエハと同じプロセスで使用される、耐食性に優れ、高純度で、鏡面性及び強度的にも優れたガラス状炭素からなるダミーウエハを提供する。【解決手段】 灰分量が18ppm以下であるガラス状炭素からなるガラス状炭素製ダミーウエハ。
Claim (excerpt)：
灰分量が18ppm以下であるガラス状炭素からなるガラス状炭素製ダミーウエハ。
Patent cited by the Patent：
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