水素分布計測を可能とする光ファイバ水素センサ及びそれを用いた測定法

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (3)：大城重信 , 山田益男 , 佐藤文男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004169856
Publication number (International publication number)：2005351651
Application date： Jun. 08, 2004
Publication date： Dec. 22, 2005
Summary：

【課題】本発明が解決しようとする課題は、本質的に防爆構造であって、かつセンサの検知部を長尺の線状あるいは面状とすることで水素漏洩を検知するばかりではなく、水素漏洩箇所に関する位置情報も得ることのできる水素センサを提供することにある。【解決手段】本発明の水素センサは、白金触媒を担持した酸化タングステン薄膜を水素感応物質として使用し、その水素感応部を光ファイバの長尺方向に広く配置する。エバネッセント波吸収式では、コアに上記の薄膜を500nm以下になるよう制御した。FBG型センサではFBG部のクラッド周面に白金触媒担持酸化タングステン粉末を膜厚1μm以上の厚さで固定化した。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

ゾルゲル法にて固定化した膜厚500nm以下の白金触媒担持酸化タングステン薄膜が長尺の光ファイバのコア外周面に均一な膜厚で配置された光ファイバ型水素センサ。

IPC (5)：

G01N21/41 , G01M3/00 , G01M3/38 , G01M11/00 , G01N21/27

FI (5)：

G01N21/41 Z , G01M3/00 D , G01M3/38 A , G01M11/00 U , G01N21/27 C

F-Term (18)：

2G059AA05 , 2G059CC02 , 2G059EE02 , 2G059EE10 , 2G059EE12 , 2G059GG01 , 2G059HH01 , 2G059HH02 , 2G059HH03 , 2G059JJ17 , 2G059MM01 , 2G059PP02 , 2G067AA48 , 2G067BB16 , 2G067BB25 , 2G067CC04 , 2G067DD11 , 2G086DD05

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (2)

水素ガスセンサ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2002-036496 Applicant：松下電器産業株式会社
ガスセンサ用の膜の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2002-133239 Applicant：岡崎慎司, 中川英元, 朝倉祝治, 富士電機株式会社

Cited by examiner (3)

ガスセンサ用の膜とその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2001-370062 Applicant：岡崎慎司, 中川英元, 朝倉祝治, 富士電機株式会社
ガスセンサ用の膜の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2002-133239 Applicant：岡崎慎司, 中川英元, 朝倉祝治, 富士電機株式会社
波長計測装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-309326 Applicant：富士電機株式会社

Article cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

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